赵蕾
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付永辉
,
刘登益
,
朱晓东
,
何家文
无机材料学报
采用离子束辅助磁控溅射技术(IBMSD)制备了高硬度、低电阻率的类石墨碳膜(GLC), 用TEM和XRD考察其组成相, 用XPS、FTIR和电阻率间接确定其碳键结构, 并测定了不同气体和离子能
量辅助轰击下制备的几组薄膜的沉积速率、成分、硬度和粗糙度等. 结果表明: 采用IBMSD制备的GLC是一种以sp2键为主的非晶硬质碳膜. CH4辅助轰击较Ar有利于提高沉积速率.
辅助轰击能量的增大使薄膜表面粗糙度先减小后增大, 硬度的变化一定程度上与粗糙度相关.
关键词:
离子束辅助沉积(IBAD)
,
magnetron sputtering
,
amorphous carbon coating
,
structure
崔建国
,
付永辉
,
李年
,
孙军
,
何家文
材料科学与工程学报
doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2000.z1.072
本文考察了LY12爆炸复合板不同取向的拉伸强度,分层韧性及垂直层合界面疲劳裂纹扩展行为.观测了垂直界面疲劳长裂纹的扩展路径形态,并利用断裂力学理论讨论了材料的层状结构与其疲劳性能之间的关系.结果表明,层合板中的层间界面性能对其疲劳性能具有重要影响,在LY12爆炸复合板中,垂直板面方向的疲劳裂纹在界面处发生了明显的止裂.
关键词:
爆炸复合板
,
疲劳
,
界面
赵蕾
,
付永辉
,
刘登益
,
朱晓东
,
何家文
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2005.01.028
采用离子束辅助磁控溅射技术(IBMSD)制备了高硬度、低电阻率的类石墨碳膜(GLC),用TEM和XRD考察其组成相,用XPS、FTIR和电阻率间接确定其碳键结构,并测定了不同气体和离子能量辅助轰击下制备的几组薄膜的沉积速率、成分、硬度和粗糙度等.结果表明:采用IBMSD制备的GLC是一种以sp2键为主的非晶硬质碳膜.CH4辅助轰击较Ar有利于提高沉积速率.辅助轰击能量的增大使薄膜表面粗糙度先减小后增大,硬度的变化一定程度上与粗糙度相关.
关键词:
离子束辅助沉积(IBAD)
,
磁控溅射
,
类石墨碳膜
,
结构
