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刘晓伟 , 田明 , 李梁梁 , 付艳强 , 郭会斌 , 刘耀 , 袁剑峰
液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20163111.1033
研究了大尺寸薄膜晶体管液晶显示器产品开发中遇到的一种新的条状显示不均。通过扫描电子显微镜、四探针测试仪和分光光度计设备对这种显示不均进行了分析，这种显示不均与薄膜晶体管阵列基板上的金属配线的膜厚周期性波动有关，金属膜厚的周期性波动导致了液晶显示器的液晶盒盒厚的不均匀，从而造成显示不均。这种膜厚的周期性波动与液晶高世代线广泛采用的平面靶材溅射设备构造有关。通过对设备结构的改造，提高了基板面内的金属膜厚的均一性，改善了此不良。
关键词: 大尺寸薄膜晶体管液晶显示器 , 磁控溅射 , 平面靶材 , 显示不均
