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硫酸盐镀铜的研究进展

辜敏 , 付遍红 , 杨明莉

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2006.01.013

铜的性质决定了铜在工业应用中的重要性,特别是目前在微电子工业中的决定性作用,使铜的电沉积过程成为研究热点.结合铜在微电子工业中的应用,综述了硫酸盐镀铜中铜的电沉积机理、铜镀层微结构、添加剂对铜电沉积过程的影响以及铜电沉积初期行为方面的研究进展.指出了铜电沉积未来的研究方向.

关键词: 电沉积 , 铜 , 硫酸盐体系