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常压烧结法制备ZAO靶材及其性质研究

王敏 , 吴波 , 刘海龙 , 黄超然 , 付金彪 , 赵春凤 , 吴育锋 , 熊远鹏 , 周泽友

硅酸盐通报

铝掺杂氧化锌(ZAO)透明导电膜兼具电阻率低和透光性好的特点,在光学与光电子领域具有广阔的应用前景.本文以微米级的高纯超细ZnO和Al2O3粉体为原料,通过控制适当的素坯成型压力,烧结前增加冷等静压环节,优化烧结工艺,制备出了高致密度和低电阻率的ZAO靶材.在16 MPa的成型压力,120 MPa冷等静压,1350℃×1h的烧结工艺下,制备出了高致密度和低电阻率的ZAO靶材,其致密度达98.0%,电阻率为1.8 × 10-2 Ω·cm,接近于热等静压所制备出的ZAO靶材.利用自制靶材,通过射频磁控溅射法,进一步制备出了ZAO薄膜,透光率达到88.6%,最低电阻率达到2.1×10-3 Ω·cm.

关键词: 透明导电氧化物 , 常压烧结法 , 射频磁控溅射 , 显微组织 , 光电性质

Ti2AlNb基合金热处理中的相结构与相变预测

吴波 , 陈露 , 付金彪 , 张朝辉 , 李强

材料热处理学报

运用相图计算技术,预测了名义成分为Ti-22aAl-27Nb的Ti2AINb基合金在热处理过程中的相结构与相转变,得到了该合金的相转变温度、相比例和各相的成分等重要信息,将材料热力学中的亚晶格模型和第一性原理总能计算相结合,对Ti2AlNb基合金中的主要组成相-O相(有序正交相)中的合金元素在各个亚晶格上的占位分数和有序化行为进行了深入研究,表明O相的有序.无序转变属于具有连续变化特征的二级相变,预测结果与现有实验结果相当吻合.

关键词: Ti2AlNb基合金 , 相平衡 , 有序-无序转变 , 相图计算 , 第一性原理计算

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