仲元昌
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郭耿涛
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贾年龙
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赵贞贞
人工晶体学报
本文采用了数字PID与神经网络相融合的晶体生长炉温度测控方法,设计了生长晶体的PID神经网络温度控制器,并用FPGA(Field Programmable Gate Array)实现了PID神经网络的并行结构;神经网络采用符合32位IEEE754的单精度浮点数运算单元.理论分析和仿真结果表明:该PID神经网络温度控制器具有很高的控制精度和响应速度,有利于提高晶体生长炉的控温精度和加热效率.
关键词:
现场可编程门阵列
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晶体生长炉
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神经网络
,
浮点
