阳运国
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张鸣剑
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潘军
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伍展文
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陈莺飞
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徐小平
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田海燕
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李洁
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崔大健
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林德华
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郑东宁
低温物理学报
doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2008.01.018
研究了一种利用纳米金属掩膜和离子辐照技术在高温超导YBCO薄膜上制备Josephson结的方法.首先用在YBCO薄膜甩上一层800nm左右的光刻胶(PMMA),继而在光刻胶上用直流磁控溅射的方法镀上一层大约300nm左右的Cr膜,利用紫外曝光和离子刻蚀的方法在YBCO薄膜上形成覆盖有Cr膜的微桥,然后,利用聚焦离子束系统(FIB)在微桥上刻出一个50nm左右的狭缝,最后利用120keV的H2+对狭缝内的材料进行辐照,从而使狭缝部分的材料超导电性减弱,形成类似SNS型的Josephson结.
关键词:
约瑟夫森结
,
FIB
,
离子辐照
伍展文
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李洁
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阳运国
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黎松林
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孙小松
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郑东宁
低温物理学报
doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2008.01.003
利用脉冲激光沉积(PLD),制备了La2/3Sr1/3MnO3(LSMO)薄膜.然后在120 keV的能量下,进行了不同剂量(1.0×1012 ion/cm2～1.0×1017 ion/cm2)的H2+离子对LSMO薄膜的注入研究.随着注入剂量的增加,膜的电阻逐渐变大,其Tp转变温度往低温方向变化.当剂量大于等于3.0×1016 ion/cm2时,LSMO薄膜具有了类似半导体的导电行为.X射线衍射(XRD)分析发现:特征峰的位置随着剂量的增加而往低的角度偏移,并且当剂量增加到一定程度时,出现双峰现象.最后研究了LSMO薄膜其磁阻(MR)随温度和磁场的变化关系.
关键词:
离子注入
,
庞磁阻
,
脉冲激光沉积
伍展文
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李洁
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阳运国
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黎松林
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郑东宁
低温物理学报
利用脉冲激光沉积（PLD）方法制备了La213Ca1／3MnO3（LCMO）外延薄膜．然后利用微纳米加工技术对LCMO薄膜材料进行了局部改造，制造出宽度仅为83纳米的弱联接结构，并对此进行了一系列的物性改变研究．发现在测量电流不变（1μA）的情况下，R～T曲线在120K附近有一个尖锐的跳变，跳变的温度区间很窄．此外，测量电流和外加磁场的增加，都能对跳变现象产生抑制作用．目前认为这种现象的产生是由于相分离的原因导致的．
关键词:
脉冲激光沉积
,
微纳米加工
,
相分离
