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金刚石膜的声学特性及其应用

雷亚民 , 王亨瑞 , 秦松岩 , 董长顺 , 何敬晖 , 陈磊 , 玄真武

硅酸盐通报

金刚石具有最高的声传播速度和极高的杨氏模量,以及优异的机械和化学性能,在声学方面具有广阔的应用前景.本文介绍了金刚石膜的声学特性和在声学方面的一些应用,以及国内外有关研究开发的情况等.

关键词: 金刚石膜 , 声学特性 , 应用 , 声表面波器件

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