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阳极氧化Ti3SiC2制备纳米孔阵列

尹洪峰 , 何晨 , 侯琴 , 袁蝴蝶

中国有色金属学报

以NH4F和乙二醇为电解液,采用阳极氧化法在Ti3SiC2表面制备纳米多孔结构,研究阳极氧化电压、电解液浓度和氧化时间对纳米多孔结构形成的影响。利用场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)、X射线衍射仪(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)对纳米多孔结构进行表征。结果表明:孔径随着氧化电压的升高而增大,且延长氧化时间有利于制备孔径均匀的纳米孔;Ti3SiC2试样经阳极氧化后除含有Ti、Si、C元素外,还含有O元素,且以TiO2的形态存在。

关键词: Ti3SiC2 , 阳极氧化 , 纳米孔 , 电解液 , 氧化电压

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