尹盛
,
何笑明
功能材料
太阳级硅材料是制造廉价太阳电池的理想材料.冷等离子体提纯与湿法冶金是制造太阳级硅材料的两种重要方法.它们各有优缺点,使之结合起来则可以取长补短,大大提高硅材料的提纯效果.文中制备了纯度达5mol/L的硅材料,基本达到制造太阳电池的要求.
关键词:
冷等离子体
,
湿法冶金
,
太阳级
,
提纯
陶甫廷
,
王敬义
,
何笑明
,
王宇
稀有金属材料与工程
由溅射速率方程和反应粒子输运方程得出了靶面化合物的覆盖度.所有方程都用反应室结构参数和宏观参数表示.文中还给出了溅射淀积TiN薄膜的计算结果,结果表明与实验数相吻合.所建立的方法便于工艺优化的实施,属新的工程方法.
关键词:
反应溅射
,
靶中毒
,
反应粒子
吕文中
,
贾小龙
,
何笑明
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.01.008
ZnO是一种新型的Ⅱ-Ⅵ族直接带隙化合物材料,是一种很有潜力的短波长光电器件材料.当ZnO薄膜具有良好的c轴取向和晶格结构时,可得到优良的光电性能比如紫外光受激发射.本实验用XRD和SEM研究了工艺条件如基片温度、氩氧比及退火工艺对ZnO薄膜结构特性的影响.结果表明在基片温度250℃、氩氧比为1∶4的条件下,可得到结晶质量良好的ZnO薄膜;通过退火可以使薄膜应力得到驰豫,降低缺陷浓度,改善薄膜的结构特性.本实验采用直流磁控溅射的方法,最终在(100)硅衬底基片上制备出了高c轴取向、晶粒尺寸约70nm的ZnO薄膜.
关键词:
ZnO薄膜
,
基片温度
,
c轴取向
,
退火
,
氩氧比
,
结晶质量
