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基于欧珀模板磁控溅射生长氧化锌薄膜及其光学特性

张蜡宝 , 熊予莹 , 初本莉 , 余红华 , 肖化

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2007.01117

采用常温射频磁控溅射方法在聚苯乙烯欧珀模板上生长氧化锌薄膜, 通过煅烧去除模板得到了类似纳米碗结构的氧化锌. 用SEM分析了模板和氧化锌的形貌. 实验结果表明: 模板为FCC结构的聚苯乙烯密堆小球, 氧化锌呈六角排列的纳米碗结构. XRD分析结果表明, 实验中制备的ZnO为沿(001)方向择优生长的六方晶型结构薄膜. 样品FTIR、UV-Vis和PL谱等的分析表明, 欧珀模板-氧化锌复合结构光致发光强度比除去模板后的氧化锌薄膜高4~5倍. 这可能是由于样品的微结构造成的, 其机理值得进一步研究.

关键词: 氧化锌 , opal , magnetron sputtering , photonic crystal

氢微波等离子体对纳米TiO2薄膜光谱响应改性研究

余红华 , 熊予莹 , 陈俊芳 , 吴先球

材料科学与工艺 doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2007.06.037

采用氢微波等离子体对纳米TiO2薄膜催化剂进行改性处理来改善其光谱响应范围.AFM观察表明未经烧结的TiO2薄膜表面形貌发生较大变化,经过500℃1h热处理过的样品表面形貌变化不大,但处理后样品表面颜色变为淡灰色,并随着气压和功率增大而变深;紫外-可见光谱分析表明,纳米TiO2薄膜催化剂的光谱响应曲线发生了12~25 nm红移;XPS定量分析证实,改性处理后部分TiO2被还原为低价钛氧化物,同时在TiO2薄膜的表面产生了氧空位,从而使样品的吸收边红移,可见光吸收增加.通过不同气压、功率、时间研究显示,在气压/微波功率/时间为16Torr/400W/5min条件下改性效果较理想.

关键词: 氢微波等离子 , 纳米TiO2薄膜 , 光谱响应 , 紫外-可见分析 , XPS

纳米TiO2薄膜的制备及其表面形貌AFM观测

余红华 , 熊予莹 , 吴先球 , 陈俊芳

材料导报

采用溶胶-凝胶法在玻璃载波片及ITO导电玻璃片上制备出负载型纳米TiO2薄膜,并用原子力显微镜(AFM)对不同条件下制备的TiO2的表面形貌进行了表征.结果表明,TiO2薄膜能较好地负载在玻片表面,并且TiO2薄膜的表面形貌与前驱物的配比浓度、基片、热处理温度等都有密切的关系.随浓度和镀膜层数的增大,薄膜中TiO2纳米微晶的颗粒尺寸逐渐增大,从细小均匀粒子膜变为较大不规则的板块结构.在ITO薄膜面形成的TiO2薄膜具有较小的颗粒和均匀的分布.

关键词: 纳米 , TiO2薄膜 , 表面形貌 , AFM

基于欧珀模板磁控溅射生长氧化锌薄膜及其光学特性

张蜡宝 , 熊予莹 , 初本莉 , 余红华 , 肖化

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324x.2007.06.020

采用常温射频磁控溅射方法在聚苯乙烯欧珀模板上生长氧化锌薄膜,通过煅烧去除模板得到了类似纳米碗结构的氧化锌.用SEM分析了模板和氧化锌的形貌.实验结果表明:模板为FCC结构的聚苯乙烯密堆小球,氧化锌呈六角排列的纳米碗结构.XRD分析结果表明,实验中制备的ZnO为沿(001)方向择优生长的六方晶型结构薄膜.样品FTIR、UV-Vis和PL谱等的分析表明,欧珀模板-氧化锌复合结构光致发光强度比除去模板后的氧化锌薄膜高4~5倍.这可能是由于样品的微结构造成的,其机理值得进一步研究.

关键词: 氧化锌 , 欧珀 , 磁控溅射 , 光子晶体

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