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TiN薄膜腐蚀过程的电化学原子力显微镜原位研究

俞春福 , 徐久军 , 王亮 , 许晓磊 , 黑祖昆

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2001.12.007

用离子束增强沉积(IBED)技术在1Cr18Ni9不锈钢上制备了TiN薄膜,并用电化学原子力显微镜(ECAFM),从纳米级空间分辨度对其在3%NaCl溶液中的早期腐蚀过程进行了原位研究.结果表明,TiN薄膜在极化电位的阴极区域发生钛氧化物膜的还原溶解;在低阳极极化电位下,发生轻微腐蚀,当阳极极化电位进一步提高,在200~300 mV出现电解抛光现象.可见,电化学原子力显微镜是研究早期腐蚀过程的有效研究手段,可原位观察研究微观腐蚀的过程

关键词: TiN薄膜 , 腐蚀 , 电化学原子力显微镜 , 原位观察

TaN薄膜局部腐蚀早期过程的ECAFM原位研究

俞春福 , 徐久军 , 黑祖昆

腐蚀与防护 doi:10.3969/j.issn.1005-748X.2004.03.005

电化学原子力显微镜(ECAFM)可以在液体环境下工作,能原位观察电极反应过程中的腐蚀界面形貌.文章介绍利用ECAFM从纳米空间分辨度上原位研究离子束增强沉积TaN膜在0.4mol/L HCl溶液中的局部腐蚀早期过程,结果发现,表面形貌为颗粒状结构的TaN膜在0.4mol/L HCl中进行阳极极化时,颗粒结构的微观顶峰优先溶解,导致颗粒高度降低,边界扩大蔓延,使膜层表面趋于平整化.

关键词: 电化学原子力显微镜 , TaN , 原位 , 腐蚀

电沉积非晶Fe-P合金镀层强化机理的研究

俞春福 , 崔永植 , 李庆伦

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.1999.09.002

制备出了超硬Fe-P合金镀层,通过X-射线衍射和穆斯堡尔谱对镀层的显微结构进行了分析,着重探讨了镀层的强化机理.

关键词: 电沉积 , 非晶 , Fe-P , 镀层强化

氮化钽薄膜局部腐蚀早期过程的原位研究

俞春福 , 徐久军 , 黑祖昆

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2002.05.006

利用离子束增强沉积(IBED)技术在1Cr18Ni9Ti奥氏体不锈钢上制备了TaN薄膜,并通过电化学原子力显微镜(ECAFM)对TaN薄膜在NaCl溶液中的腐蚀早期过程进行了原位研究,重点观察了微观缺陷处的腐蚀状况.结果表明,在TaN薄膜的腐蚀早期阶段,腐蚀并非从缺陷处开始,反而在有坑的位置形成更厚的钝化膜,表现出较好的整平性,从而缓解了腐蚀进程.

关键词: 氮化钽薄膜 , ECAFM , 腐蚀 , 原位

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