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倾斜磁控溅射低温沉积ZnO:Al薄膜及其光电性能的研究

冯兰 , 刁训刚 , 王涛 , 刘海鹰 , 康明生

功能材料

利用直流-射频共溅射法在玻璃基底上低温制备了系列掺铝氧化锌(ZAO)透明导电薄膜.研究了低温溅射过程中倾斜溅射靶偏角对样品电学性能、紫外-可见-近红外光区透过率、X射线衍射谱及薄膜表面形貌的影响.结果表明,室温条件下制备的ZAO薄膜具有(002)择优取向,当靶偏角为23°时,薄膜方块电阻最低,可达17Ω/□,电阻率为2.2×10-3Ω·cm,可见光平均透过率在85%以上,最高可在95%以上.紫外截止和近红外反射效果明显.

关键词: ZnO:Al薄膜 , 透明导电薄膜 , 共溅射 , 倾斜溅射

分析TFT亮态漏电流影响因素的测试方法

侯清娜 , 张新宇 , 王峥 , 林鸿涛 , 冯兰 , 刘冬

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20153004.0628

对于薄膜晶体管液晶显示器来说,TFT的特性对产品的品质有很大的影响,而其亮态漏电流Ioff的影响尤为重要.为改善器件性能,需要深入分析TFT亮态漏电流的影响因素.本文在实验基础上提出一种测试方法,首先使用BM PR(Black Matrix Photo Resist)对TFT沟道的不同位置进行遮挡;再对遮挡样品进行TFT特性测试.进而能模拟出实际工作中的TFT亮态漏电流,可以更加简便有效地优化TFT下方的栅极金属线宽,同时降低亮态漏电流.最后制作了54.6 cm(21.5 in)改善样品,通过新测试方法分析,将栅极金属线加宽约1.5 μm,改善后样品的亮态漏电流从14.08 pA降至约9.50 pA.所以,使用新的测试方法无需将样品制作到模组后再进行品质评价,简单有效并降低了产品制造成本.

关键词: 薄膜晶体管液晶显示 , TFT测试方法 , 亮态漏电流

影响 ADS 面板闪烁漂移的因素研究

冯兰 , 侯清娜 , 王峥 , 林鸿涛 , 刘冬

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20153005.0807

挠曲电效应(Flexoelectric Effect)是指液晶分子在外电场的作用下,由于展曲/弯曲形变而导致的液晶分子自极化,并表现出宏观电偶极矩的现象。ADS 模式液晶显示面板在开机工作初,由于挠曲电效应从而产生闪烁漂移(Flicker Shift)的现象。本文从挠曲电效应的产生机理出发,结合试验结果,讨论了灰阶电压大小及灰阶电压对称性对闪烁漂移程度、速率的影响;当闪烁漂移达到稳定后,面板的实际公共电极电压(V com )偏移程度变化。结果发现,随着灰阶电压的升高,闪烁漂移程度会随着挠曲电效应的增强而加重,面板内 V com 电压偏移量也随之增加,而改变灰阶电压的对称性可在一定程度上增强或抵消自极化效应带来的 Flicker 漂移和 V com 电压偏移。利用该结果可一定程度上改善面板的显示特性。

关键词: 挠曲电效应 , 闪烁漂移 , 灰阶电压 , 灰阶电压对称性 , V com电压

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