刘波
,
赵小如
,
冯娴娴
,
刘凯
,
赵亮
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2009.04.011
掺杂氧化锌(ZnO)薄膜是一种新型的透明导电氧化物(TCO)材料,因有替代氧化铟锡(ITO)的潜能而成为当今TCO材料中的研究热点,其优异的光学和电学性能使其在平板显示器、太阳能电池等光电器件中具有光明的应用前景.文章对ZnO基半导体材料的结构和性能进行了介绍,综述了近年来以ZnO薄膜为基体的n型和p型掺杂的研究进展,并在此基础上对未来的发展方向进行了展望.
关键词:
氧化锌
,
透明导电
,
电阻率
,
透过率
