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全密封超薄碳纳米管玻璃平板字符显示器件制造工艺的初步探讨

李宏彦 , 刘光诒 , 夏善红 , 叶久龙 , 杨久霞 , 支春义 , 王恩哥 , 戴居丰

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2005.06.003

利用自制的场助热丝化学气相沉积设备,在不锈钢电极的部分选取表面上,摸索出了直接生长碳纳米管(CNT's)勿须涂敷催化剂的新方法.利用得到的高定向多壁碳纳米管薄膜,研究出一种制造大面积实用碳纳米管阵列场发射(CNT's/FEA)阴极的新方法.经真空条件下的发射特性测量及SEM等检测手段肯定了这种CNT's/FEA阴极的实用性.从工艺流程角度出发,初步探讨了静态工作制式下,采用碳纳米管做电极后,实现一种全密封超薄碳纳米管玻璃真空字符(或图像)显示器件的可能性.10多只封离管共显示过3种类型的字型(图像),全部管厚仅为2.7 mm.实验结果不仅提供了一种碳纳米管阴极在玻璃真空平板型器件内应用的方法,也摸索出了一条实现小尺寸双色(或多色)字符(图像)静态(或动态)显示的廉价、节能途径.

关键词: 碳纳米管 , 阵列场电子发射电子源 , 平板型字符(图像)显示器件 , 场助(或偏置増强)热丝化学气相沉积 , 二极管 , 荧光粉

平滑型耐高温碳场发射体SCFE在真空X射线管内的试用

刘光诒 , 吕庆年 , 夏善红 , 王德安 , 李悌兴 , 李宏彦 , 丁耀根 , 鞠仲谋

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2008.02.025

为改进便携式RTx-150Ⅱ型X射线机内真空园锥靶脉冲X射线管的性能,研制成功了一种平滑型耐高温碳场电子发射体SCFE,该SCFE阴极首次装入X射线管即表现出了良好的性能,目前装入整机已1年多,尚未见有发射性能衰变,与该管以前采用的耐高温碳场电子发射体CFE比较,除阴极表面光洁度、体积密实度大大提高,管内零件安装更精密,与管内其他电极的接触更完善等较明显的改善外,阴极总厚度降低至1 mm,特别是发射尖端处的厚度减小到了微米量级,电子发射的区域更加集中,初步试用的结果显示,电子发射性能、整管的工作稳定度都确有提高.

关键词: 碳场电子发射体 , 平滑型耐高温碳场电子发射体 , 真空脉冲X射线管

全玻璃平板型真空荧光光源的工艺探讨

刘光诒 , 夏善红 , 吕永积 , 陈绍凤 , 李宏彦 , 罗运良 , 王建英

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2001.04.007

提出并研制出一种新型平板式全玻璃真空荧光光源(VFLS)管, 与国际上传统的真空荧光光源管比较, 新的器件在大面积碳场发射阴极, 厚膜管结构和制造工艺等方面是新颖的. 从真空荧光光源管内的工作原理出发, 分析了该器件工作时管内发生的主要物理过程, 详细介绍了研制VFLS管的制造工艺, 并讨论了此工作目前存在的问题及前景.

关键词: 真空微电子学 , 真空荧光光源 , 全玻璃平板型

在烧结氧化中Se气氛对真空微电子平板摄像管CdSe靶面性能的影响

吕永积 , 邵佑军 , 刘光诒 , 施化芬 , 罗运良

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2002.03.006

CdSe是研制高灵敏真空微电子平板摄像管光导靶材材料,在CdSe靶材的结晶过程中Se气氛对形成完整的晶格结构起了至关重要的作用.介绍了精确控制Se气氛的实验装置和Se气氛对CdSe光导靶性能影响的实验结果.

关键词: 真空微电子摄像管 , 硒气氛 , 六角形结构

靶面淀积参数对真空微电子平板摄像管特性的影响

吕永积 , 邵佑军 , 刘光诒 , 施化芬

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2002.04.005

为了开发用于真空微电子平板摄像管的高灵敏度CdSe多层光导材料,改建了一台能精确控制CdSe材料的蒸发速率、厚度和基体温度的高真空蒸镀设备,开发了由真空热预处理,非真空热后处理二种处理新工艺,制造出了新的高性能的CdSe多层光导靶.使CdSe多层光导靶的灵敏度提高了两个数量级,而清晰度(分辨率)保持不变.介绍了CdSe蒸发工艺对靶面特性的影响.

关键词: 真空微电子平板摄像管 , 真空热预处理 , 非真空热后处理

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