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基于WO3薄膜的双声路声表面波型SO2气体传感器

文常保 , 朱长纯 , 巨永锋 , 邱彦章 , 许宏科 , 胡小东 , 吴媛 , 刘君华

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2009.01.001

以金属钨粉,H2O2,CH3OH和PVP(聚乙烯吡咯烷酮)为原料,利用热喷射方法在双声路声表面波器件的测量声路上制作了细微多网孔状WO3薄膜,提出并实现了一种在常温下可以实现对二氧化硫(SO2)气体进行物理吸附和解吸附的基于WO3薄膜的双声路声表面波型SO2气体传感器.声表面波器件的双声路结构消除了由于外界测量条件改变引起的测量误差,也进一步提高了传感器的可靠性和准确性.实验结果表明,该传感器具有好的重复性,在测量范围内对各种浓度的SO2气体具有好的响应特性;传感器在0.5ppm到20ppm浓度范围内的线性灵敏度大约为6.8KHz/ppm.

关键词: 声表面波器件 , WO3薄膜 , SO2气体 , 传感器 , PVP

碳纳米管气敏传感器的制备与性能研究

商世广 , 赵玲 , 李昕 , 刘君华 , 赵萍 , 邢立冬

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2011.02.001

本文采用传统的光刻工艺、丝网印刷技术和烧结工艺在ITO透明导电薄膜上制备出电容式的碳纳米管(CNT)膜气敏传感器,探讨扫描电压、工作频率和各种工艺参数对其性能的影响.光学显微镜测试表明,丝网印刷的CNT膜表面平整、分布均匀.扫描电镜表征显示,在大气中300℃烧结能促使有机粘合剂充分地分解和蒸发,在CNT膜中留下能有效提高气体吸附面积的丰富间隙.半导体特性分析仪分析表明,CNT膜气敏传感器经300℃烧结后在室温条件下,电容和电导对乙醇的灵敏度分别为198%和197%.

关键词: 碳纳米管 , 气敏传感器 , 灵敏度

用神经网络提高SO2传感器的检测速度

朱长纯 , 于丽娟 , 魏培永 , 韦玮 , 刘君华 , 刘光泗

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.01.007

制作了新型IDC结构聚苯胺膜SO2传感器，测得不同SO2浓度的电导响应与恢复时间曲线。从这些气敏特性曲线出发，以电导响应曲线的斜率作为网络的输入，对应的SO2浓度作为输出，建立了BP网络预测推理模式，对四组数据的预测结果表明精度较高(误差小于3％），具有很好的预测能力。这种方法不同于传统的标定方法，后者需要4min才能达到稳定的响应，神经网络样本检测不需要达到稳定的响应就可以预测SO2的浓度，从而大大缩短了结果的响应时间（缩短了75％）。

关键词: 聚苯胺膜 , 神经网络 , 预测 , SO2传感器

碳纳米管高温热稳定性与结构的关系

姚振华 , 朱长纯 , 程敏 , 刘君华

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2002.01.009

使用分子动力学方法对单壁碳纳米管高温下的结构进行了计算机模拟.对扶手椅结构(10,10)和(20,20)的单壁碳纳米管进行了模拟,结果表明,碳纳米管开头端由于能量弛豫过程,直径比内部略大,在温度逐渐升高之后,构成纳米管的碳原子逐渐偏离晶格位置,小直径的碳纳米管在3 000K温度之下结构是稳定的;直径小的碳纳米管的高温热稳定性比直径大的碳纳米管要好.

关键词: 碳纳米管 , 分子动力学 , 热稳定性

光热激励的硅基双层微机械悬臂梁的特性研究及模拟优化

刘月明 , 刘君华 , 张少君

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.01.004

本文研究了硅基双层微机械悬臂梁在光热激励下的挠曲特性和频率特性,并利用建立的数学模型进行了模拟和优化.从而为新型传感器的研制提供了理论分析和优化设计的基础.

关键词: 硅基双层微悬臂梁 , 光热激励 , 特性研究 , 仿真优化

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