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溅射气压和衬底温度对Si_(1-x)Ge_x薄膜结构和光吸收性能的影响

刘亚妮 , 余乐 , 李子全 , 刘劲松 , 曹安 , 蒋维娜 , 刘建宁

机械工程材料

采用射频磁控溅射法沉积了Si1-xGex薄膜,研究了溅射气压、衬底温度对薄膜结构、厚度、表面形貌、表面成分及光吸收性能的影响。结果表明:薄膜均为微晶结构且相组成不随溅射气压和衬底温度的改变而改变;随着溅射气压升高,薄膜结晶性能降低,升高衬底温度使其结晶性能提高;随气压或温度的升高,薄膜厚度均先增大后减小,在1.0Pa或400℃达到最大值;随温度的升高,薄膜表面团簇现象消失并变得平整致密,气压为8.0Pa时,表面有孔洞和沟道;随气压升高,薄膜中锗含量降低,光吸收强度减小,光学带隙增大;衬底温度的变化对光学带隙影响不大。

关键词: Si1-xGex薄膜 , 溅射气压 , 衬底温度 , 光吸收强度

影响SI-GaAs单晶抛光片均匀性的因素研究

赖占平 , 齐德格 , 高瑞良 , 杜庚娜 , 刘晏凤 , 刘建宁

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2000.02.017

高度PL mapping均匀的SI-GaAs单晶抛光片是制作大功率微波器件和大规模超高速数字集成电路的理想衬底.本工作对影响SI-GaAs单晶抛光片均匀性的各种因素进行了研究.发现位错密度对晶体的宏观电阻率均匀性和微观均匀性以及PL mapping均匀性都有一定的影响;而晶体的AB-EPD和抛光工艺对PL mapping均匀性影响更大,AB-EPD与热处理工艺有关.对实验现象进行了解释.

关键词: 砷化镓 , 单晶 , 均匀性 , 抛光片 , 缺陷

干凝胶自蔓延燃烧法制备纳米级的MnZn铁氧体

赵建社 , 梁永庆 , 阎鸿君 , 顾爱萍 , 何水样 , 刘建宁

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2003.01.019

以硝酸铁、硝酸锌、硝酸锰和柠檬酸为原料,利用溶胶-凝胶法和干凝胶自蔓延燃烧工艺制备了纳米级的MnZn铁氧体.利用热分析(TG-DTG)研究了干凝胶自燃烧过程,并且利用X衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)研究了pH值、温度、成胶时间以及燃烧温度对MnZn铁氧体的晶体结构、晶体组成和粒径大小的关系.实验结果表明:在较低的pH值和适当的成胶时间下,通过微波外界加热维持干凝胶的自蔓延燃烧可以制得粒径为10~20nm之间,晶型良好的立方尖晶石结构MnZn铁氧体.

关键词: 溶胶-凝胶 , 自蔓延燃烧 , 微波 , 纳米 , MnZn铁氧体

纳米级二氧化钛制备方法的比较研究

胡娟 , 邓建刚 , 何水样 , 畅柱国 , 赵建社 , 刘建宁

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2001.04.016

分别以钛酸丁酯和工业用二氧化钛为前驱物,用溶胶-凝胶法和水热合成法制备了粒度均匀的纳米级二氧化钛粉体.考察探究了各个制备参数对纳米级TiO2粒径及团聚情况的影响,这些参数包括溶液pH值、钛盐浓度、陈化时间、温度、压强、灼烧时间等.发现用Sol-Gel法时,反应物最佳配比为Ti(OC4H9)4:CH3CH2OH:H2O:冰HAc=1:9:3:10,产物呈球形微粒,粒径介于16-20nm,晶形属锐钛矿型.用水热合成法时,因要同时考虑尿素分解温度及反应器所能承受的最大压力,综合各种因素发现反应釜内最佳反应温度为122℃,灼烧温度应介于400-500℃,所得的粉体粒径介于9-25nm之间,亦属锐钛矿型.成品都用TG、XRD及TEM技术表征,并对结果进行比较分析.

关键词: 纳米TiO2 , Sol-Gel法 , 水热合成法 , 影响因素

甲基环戊二烯基水杨酸钛(Ⅳ)配合物的合成与表征

赵建社 , 张荣兰 , 顾爱萍 , 郝葳潇 , 何水样 , 刘建宁

应用化学 doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2002.07.014

采用水相法和两相法用二氯二甲茂钛与相应的水杨酸反应合成了6个配合物:二甲基环戊二烯基水杨酸钛(Ⅰ),二甲基环戊二烯基二水杨酸钛(Ⅱ),二甲基环戊二烯基5-硝基水杨酸钛(Ⅲ),二甲基环戊二烯基二5-硝基水杨酸钛(Ⅳ),二甲基环戊二烯基3,5-二硝基水杨酸钛(Ⅴ),二甲基环戊二烯基硫代水杨酸钛(Ⅵ). 对这些化合物进行了元素分析,测定了熔点,讨论了它们的红外光谱和核磁共振谱.

关键词: 二甲茂水杨酸钛(Ⅳ)配合物,水相法,两相法,合成,甲基环戊二烯

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