任洋
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赵高扬
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李颖
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章晨曦
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高贇
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刘灵军
材料热处理学报
采用溶胶凝胶法,通过控制热处理气氛在石英玻璃基片上制备了光电性能优良的CuAlO2薄膜,研究了氧气和氮气对CuAlO2薄膜制备的影响.结果表明,CuAlO2薄膜的制备先后经历了凝胶膜的热分解、无定形薄膜、固相反应、CuAlO2形核与长大4个过程.固相反应阶段前通氧气,能够促进中间产物CuO的生成,之后通氮气可以使中间产物CuO与CuAl2O4发生固相反应生成CuAlO2,最终制备的CuAlO2薄膜结晶状况良好、晶粒较大,表面均匀致密,没有孔洞,电阻率为250 Ω·cm,薄膜在700 nm处的透过率为75.5％.
关键词:
CuAlO2
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薄膜
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热处理
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气氛
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溶胶凝胶
