陆晓欣
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朱嘉琦
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王赛
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刘罡
,
刘远鹏
,
袁欣薇
,
霍施宇
功能材料
为了提高固贴式薄膜体声波谐振器（SMR）的电学和声学品质,实现四面体非晶碳（ta-C）在体声波器件领域的新应用,建立了以ta-C为布拉格反射栅高声阻抗材料的SMR模型,利用MathCAD仿真研究布拉格反射栅层数对该SMR的谐振特性的影响以及ta-C中sp3杂化含量和高/低声阻抗层厚度偏差对SMR的品质因子（Q值）的影响。结果表明层数的增加提高了SMR的品质;ta-C薄膜sp3杂化含量越高,达到饱和Q值所需层数越少,当含量为80%时,至少需要6层（3对）布拉格反射层使SMR达到优异Q值;距离压电堆越近的高/低声阻抗层,其厚度偏差对Q值的影响越大,从而实现了高频率（8GHz）低损耗的SMR的设计。
关键词:
固贴式薄膜体声波谐振器
,
四面体非晶碳
,
布拉格反射栅
,
品质因子
刘罡
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朱嘉琦
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王赛
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陆晓欣
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刘远鹏
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霍施宇
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袁欣薇
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2010.01233
固贴式薄膜体声波谐振器(SMR-FBAR)技术是近年来电子工业领域里的突破性技术, 具有2GHz以上的工作频率、极高的的品质因子及良好的机械稳定性等众多的优异特性. 基于其独特的优越性, 固贴式薄膜体声波谐振器成为了科研工作者们关心的热点, 并在第三代无线通信系统中已得到广泛应用, 例如作为基本单元用来制作滤波器、双工器和振荡器等第三代无线通信系统中的频率选择器件. 器件选用的材料体系是决定器件性能的关键因素. 本文以器件结构为线索, 综述了固贴式薄膜体声波谐振器用材料体系的研究进展, 包括压电薄膜(氮化铝、氧化锌等)、高/低声阻抗材料以及电极薄膜, 讨论了材料性能和器件性能的关系, 并对材料体系下一步的研究方向进行了展望.
关键词:
固贴式薄膜体声波谐振器
,
piezoelectric film
,
Bragg reflector
,
electrode film
,
review
刘罡
,
朱嘉琦
,
王赛
,
陆晓欣
,
刘远鹏
,
霍施宇
,
袁欣薇
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2010.01233
固贴式薄膜体声波谐振器(SMR-FBAR)技术是近年来电子工业领域里的突破性技术,具有2GHz以上的工作频率、极高的的品质因子及良好的机械稳定性等众多的优异特性.基于其独特的优越性,固贴式薄膜体声波谐振器成为了科研工作者们关心的热点,并在第三代无线通信系统中已得到广泛应用,例如作为基本单元用来制作滤波器、双工器和振荡器等第三代无线通信系统中的频率选择器件.器件选用的材料体系是决定器件性能的关键因素.本文以器件结构为线索,综述了固贴式薄膜体声波谐振器用材料体系的研究进展,包括压电薄膜(氮化铝、氧化锌等)、高/低声阻抗材料以及电极薄膜,讨论了材料性能和器件性能的关系,并对材料体系下一步的研究方向进行了展望.
关键词:
固贴式薄膜体声波谐振器
,
压电薄膜
,
布拉格反射栅
,
电极薄膜
,
综述
杨绍斌
,
刘远鹏
材料导报
硅基负极材料具有比容量大的优点,是高容量锂离子电池理想的负极材料.然而硅基材料在循环过程中容量衰减快,影响了其实用性.从硅复合物粉末和硅薄膜两个重要研究方面对硅基负极材料进行了综述,指出在Si基复合负极材料的研究中,单一途径改性提升循环性能的幅度有限,很难达到实用化阶段.硅的纳米化、无定形化、合金化及复合化等方法的综合运用成为硅基材料研究的主导方向.
关键词:
锂离子电池
,
硅
,
负极材料
