黄翀
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李成
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欧阳艳东
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刘骥
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吴永俊
功能材料与器件学报
Al薄膜作为钼/铝/钼三层金属桥的中间层,在电容式触摸屏中起到ITO图形搭桥的作用.金属Al在可见光范围内具有较高的反射率,导致在电容屏上有金属桥的部分反射率大于周边没有金属桥的部分,影响屏幕的显示效果.为了减少Al薄膜的反射率,可以采取增大Al薄膜表面粗糙程度的办法,增加漫反射.在不同的直流磁控溅射工艺下制备了表面粗糙度不同的Al薄膜,并分析了引起粗糙度不同的原因.得出了解决金属桥影问题的工艺条件.
关键词:
触摸屏
,
表面粗糙度
,
Al薄膜
