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碘过饱和KOH溶液腐蚀硅尖技术研究

韩建强 , 卢少勇 , 李青 , 王疆英

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2008.10.024

氢氧化钾溶液腐蚀硅尖具有易于实现、设备简单、优异的纵向腐蚀均匀性等优点,但腐蚀均匀性差、纵向和横向腐蚀速率之比低、针形为不对称的八棱锥.通过在KOH溶液中添加过饱和的碘单质(I2),显著减小了快腐蚀面的削角速率,在较小的掩膜下腐蚀出高的硅尖.更为重要的是该腐蚀液腐蚀的硅尖异于常规的不对称八棱锥,而是一种半锥角很小的"火箭尖"形状,因此可望获得更好的扫描特性和隧道效应.

关键词: AFM探针 , 削角 , 硅尖 , 各向异性腐蚀 , 微电子机械系统

近20年洞庭湖总氮和总磷浓度时空变化及其影响因素分析?

张光贵 , 卢少勇 , 田琪

环境化学 doi:10.7524/j.issn.0254-6108.2016.11.2016040501

利用近20年监测数据,对洞庭湖总氮(TN)和总磷(TP)浓度的时空分布特征及其三峡工程运行后的变化进行了分析.结果表明,洞庭湖 TN 和 TP 浓度的年均值分别为1.12—2.06 mg·L-1和0.062—0.146 mg·L-1,TN浓度呈显著上升趋势(P<0.05),TP浓度变化平稳.TN和TP浓度总体均表现为枯水期>平水期>丰水期,其中枯水期、平水期与丰水期TN浓度差异具有统计学意义( P<0.05).下游S6—S11断面TN浓度明显高于上游S1—S5断面,除S6断面外,洞庭湖各断面之间TP浓度相差不大;TN浓度总体表现为东洞庭湖>南洞庭湖>西洞庭湖,各湖区相互之间TN浓度差异具有统计学意义( P<0.05),TP浓度总体表现为西洞庭湖>东洞庭湖>南洞庭湖.三峡工程运行前后,TN浓度的时空分布基本保持一致;TP浓度的季节分布由三峡工程运行前的平水期>枯水期>丰水期变化为三峡工程运行后的枯水期>平水期>丰水期,其空间分布由三峡工程运行前的东洞庭湖>西洞庭湖>南洞庭湖变化为三峡工程运行后的西洞庭湖>东洞庭湖=南洞庭湖.洞庭湖TN和TP浓度的空间分布特征与其污染来源有关.三峡工程运行前后洞庭湖TP浓度的时空分布格局变化与其水沙条件变化有关.

关键词: 三峡工程 , TN和TP , 时空变化 , 洞庭湖

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