卢振伟
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吴现成
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徐大印
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赵丽丽
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张道明
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王文海
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甄聪棉
材料导报
随着集成电路的飞速发展,半导体器件特征尺寸按摩尔定律不断缩小.SiO2栅介质将无法满足Metal-oxide-semniconductor field-effect transistor(MOSFET)器件高集成度的需求.因此,应用于新一代MOSFET的高介电常数(k)栅介质材料成为微电子材料研究热点.介绍了不断变薄的SiO2栅介质层带来的问题、对MOSFET栅介质材料的要求、制备高k薄膜的主要方法,总结了高k材料的研究现状及有待解决的问题.
关键词:
微电子材料
,
栅介质
,
等效SiO2厚度
,
薄膜
卢振伟
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陈东
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刘颖
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聂毓秀
,
陈杭亭
,
李伟国
,
倪嘉缵
应用化学
doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2003.01.002
研究了常乐(用于肥料添加剂的一种混合稀土硝酸盐)对Wistar大鼠肝脏中7种常见酶(ALT,ICD,AST,LAP,ALP,γ-GT,CHE)活性的变化,并用电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)测定了稀土在肝脏中的累积情况. 结果表明,稀土对多种酶表现出低剂量激活、高剂量抑制的小剂量刺激作用(Hormesis),但产生刺激作用的剂量随酶的种类不同而不同,并表现出明显的性别差异.
关键词:
肝脏
,
酶
,
稀土
,
Hormesis作用
