耿焕然
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汤皎宁
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章剑波
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龙峻标
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吕乐阳
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吴喜明
电镀与涂饰
将天然鳞片状石墨先进行化学镀铜、再化学镀银制得镀银石墨粉,通过扫描电镜观察了所制备的镀银石墨粉与直接镀银石墨粉及其球磨5h后的试样的表面形貌.将制备的样品用于印刷导电油墨,测试了镀银石墨粉的膜电阻率.结果表明,直接镀银的石墨表面镀层不均匀、覆盖率不高,球磨后银层发生大面积脱落；化学镀铜后再镀银的石墨粉镀层包覆程度高,晶粒尺寸均匀、致密,球磨后没有发生明显的镀层剥离现象.含该镀银石墨粉的导电油墨的膜电阻率为1.36×10-4Ω.cm,导电性能达标.
关键词:
导电油墨
,
镀银石墨粉
,
化学镀铜
,
电阻率
谷坤明
,
吕乐阳
,
毛斐
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虞烈
,
汤皎宁
功能材料
采用ECR微波等离子体增强化学气相沉积的方法于C1H2/H2/Ar2等离子环境中在单晶Si(111)晶面上制备了不同厚度的DLC膜样品,研究了薄膜的厚度随沉积时间的变化及薄膜的硬度、内应力随厚度的变化关系.结果表明,在沉积时间变化范围内,厚度与沉积时间基本呈线性关系,沉积速率可达80nm/min;制备态样品存在的内应力先随厚度增加而增加,当薄膜内应力超过某临界值时将通过表面崩裂达到应力松弛效果,XRD测得基底Si(111)峰位偏移先随厚度增加而增加,随后变化趋于平缓,表明薄膜表面崩裂后内应力维持在一定水平,但薄膜的硬度测量值受到表面崩裂程度影响.
关键词:
ECR-CVD
,
DLC膜
,
内应力
