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化学溶液法La2Zr2O7缓冲层的厚度对外延生长超导层的影响

王辉 , 曹丽云 , 金利华 , 王耀 , 吕剑峰 , 黄剑锋 , 李成山

低温物理学报

采用全化学溶液沉积方法在NiW衬底上制备La2Zr2O7缓冲层和YBCO薄膜.采用X射线衍射和扫描电镜研究了不同的LZO缓冲层厚度对超导层的影响.不同厚度LZO的面内外织构具有一定差别.当LZO厚度达到145 nm时,LZO缓冲层的织构和阻隔能力最佳,才能制备出具有良好性能YBCO超导层.

关键词: 缓冲层 , 厚度 , YBCO薄膜

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