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熔石英亚表面缺陷的研究进展

蒋勇 , 袁晓东 , 祖小涛 , 向霞 , 徐世珍 , 吕海兵 , 章春来 , 尹伟 , 陈猛 , 王成程

材料导报

介绍了熔石英亚表面缺陷(SSD)的深度分布与粒径的量化关系及表面粗糙度的量化,以及杂质引起热破坏、裂纹导致电场增强、缺陷导致机械性能弱化3种诱导熔石英损伤的机理.还介绍了氢氟酸(HF)刻蚀和激光预处理2种非常有效的控制熔石英亚表面缺陷的技术,并对熔石英亚表面缺陷研究现状、存在问题和发展趋势进行了简要的总结和展望.

关键词: 亚表面缺陷 , 缺陷量化 , 损伤机理 , HF酸刻蚀 , 激光预处理

CO2激光对熔石英损伤修复的研究进展

罗成思 , 袁晓东 , 刘春明 , 向霞 , 章春来 , 吕海兵 , 祖小涛

材料导报

CO2激光对熔石英损伤修复的机理主要是通过激光的热效应使表面发生熔融,对损伤处起到弥合作用使元件的表面结构趋于完整.近几年CO2激光修复的方法按激光扫描方式可以分为光栅式扫描法和振镜扫描法.利用逐渐提高功率的扫描方式可以有效减少修复过程中气泡的产生,用高温退火的方式可以完全消除或者消除大部分修复后产生的应力,这取决于损伤点的尺寸.多种处理工艺相结合的方法可以有效提高修复后的损伤阈值.

关键词: 熔石英 , CO2激光 , 激光诱导损伤 , 损伤修复

不同化学蚀刻法对石英基片激光损伤阈值的影响

赵松楠 , 吕海兵 , 晏良宏 , 袁晓东 , 郑万国

材料导报

为提高三倍频光学元件的表面损伤阈值,采用了不同方式对石英基片进行酸蚀刻,利用原子力显微镜观测了基片蚀刻前后的表面微观形貌,并在激光损伤测量装置上进行了R:1方式的阈值测试,比较分析了蚀刻前后基片激光损伤阈值和表面形貌的变化,并比较了不同抛光质量石英基片蚀刻效果的差异.通过实验研究,总结了不同蚀刻方式的优缺点,研究表明酸蚀刻法可以有效提高石英基片激光损伤阈值.

关键词: 激光损伤阈值 , 湿化学蚀刻 , 石英基片 , 表面形貌

疏水疏油二氧化硅增透膜的制备

晏良宏 , 匙芳廷 , 蒋晓东 , 吕海兵 , 袁晓东 , 江波

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2007.01247

以正硅酸乙酯为前驱体,氨水为催化剂,采用溶胶-凝胶法,结合全氟辛基癸烷三甲氧基硅烷(FAS)自组装对膜层表面改性,制备了疏水疏油二氧化硅增透膜. 采用红外光谱仪, 分光光度计, 扫描探针显微镜, 椭偏仪, 静滴接触角测量仪, 抗油污染能力测试等技术对膜层性质进行了分析. 结果表明: 疏水疏油增透膜的峰值透光率为99.8%; 与水的接触角为118.0°, 与二甲基硅油的接触角达到74.5°; 在抗油污染能力测试中, 疏水疏油增透膜的抗油污染能力较常规增透膜大大增强.

关键词: 溶胶-凝胶 , silica , antireflective coating , hydro-oleophobicity

X射线反射法和椭圆偏振法结合测量热处理溶胶-凝胶ZrO2薄膜的结构和光学参数

贾红宝 , 孙菁华 , 徐耀 , 吴东 , 吕海兵 , 袁晓东

材料科学与工程学报

采用溶胶-凝胶法在硅片基底上制备ZrO2薄膜,在150℃~750℃范围内不同温度下进行热处理,研究了热处理对膜层结构和光学性能的影响.X射线反射用于膜层厚度和界面粗糙度分析,结果表明热处理温度由150℃升至750℃,膜层厚度由常温状态下的112.3nm减小到34.0nm,表面和界面粗糙度均小于2nm.以X射线反射法测得的膜层厚度为初始值,对椭圆偏振仪的测量结果进行拟合,得到不同温度的膜层折射率,结果表明热处理温度为550℃时膜层折射率达到最大值.X射线反射作为直接的膜层厚度测试手段,所得结果为准确分析椭偏光谱提供了参考.

关键词: 溶胶-凝胶 , 二氧化锆 , X射线反射法 , 椭偏光谱法

氘代聚苯乙烯胶体晶体的制备及光学性质研究

严鸿维 , 张林 , 吕海兵 , 袁晓东 , 任洪波

功能材料

以水作为介质合成了高度单分散的氘代聚苯乙烯微球,并利用垂直沉积法制备了高质量的氘代聚苯乙烯胶体晶体.傅立叶变换红外光谱清楚地表明氘代苯乙烯单体发生了聚合反应;扫描电镜表面分析展示出胶体微球的高度有序排列,断面分析表明氘代聚苯乙烯胶体晶体为面心立方结构;光学透射谱显示出氘代聚苯乙烯胶体晶体的高次布拉格衍射特征,通过和理论计算的能带结构对比,进一步证实了氘代聚苯乙烯胶体晶体为面心立方结构;变角度光学透射谱测量显示,随着入射角的增大,(111)面的衍射峰蓝移,而(200)和(220)面的衍射峰发生红移.

关键词: 氘代聚苯乙烯 , 胶体晶体 , 单分散 , 光学性质

溶胶-凝胶法制备氧化硅光学减反射膜

孙菁华 , 吕海兵 , 吴东 , 徐耀 , 袁晓东

材料导报

综述了溶胶-凝胶光学减反射膜的应用背景及光学原理,系统讨论了溶胶-凝胶氧化硅减反射膜的完整制备工艺以及薄膜在使用过程中的主要性能评价指标,最后展望了薄膜的未来发展趋势.

关键词: 溶胶-凝胶 , 氧化硅 , 光学减反射膜 , 高功率激光系统

疏水疏油二氧化硅增透膜的制备

晏良宏 , 匙芳廷 , 蒋晓东 , 吕海兵 , 袁晓东 , 江波

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324x.2007.06.047

以正硅酸乙酯为前驱体,氨水为催化剂,采用溶胶-凝胶法,结合全氟辛基癸烷三甲氧基硅烷(FAS)自组装对膜层表面改性,制备了疏水疏油二氧化硅增透膜.采用红外光谱仪,分光光度计,扫描探针显微镜,椭偏仪,静滴接触角测量仪,抗油污染能力测试等技术对膜层性质进行了分析.结果表明:疏水疏油增透膜的峰值透光率为99.8%;与水的接触角为118.0°,与二甲基硅油的接触角达到74.5°;在抗油污染能力测试中,疏水疏油增透膜的抗油污染能力较常规增透膜大大增强.

关键词: 溶胶-凝胶 , 二氧化硅 , 增透膜 , 疏水疏油性

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