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常压化学气相沉积法制备氮化钛薄膜结构和节能性能研究

段钢锋 , 赵高凌 , 林小璇 , 吴历清 , 杜丕一 , 翁文剑 , 汪建勋 , 韩高荣

功能材料

在普通玻璃基板上利用常压化学气相沉积法在580℃条件下制备得到了氮化钛薄膜.对薄膜的结晶性能、断面形貌、方块电阻以及光学透过率和反射率进行了研究.随着沉积时间的增长,薄膜由单层结构变为一种特殊的双层结构,这种双层结构的形成是沉积过程中气相成核机制引起的.光谱结果显示制备得到的薄膜具备一定的阳光控制性能.然而,双层薄膜的红外反射率随沉积时间的增长迅速降低,影响了其阳光控制性能.

关键词: 氮化钛 , 常压化学气相沉积法 , 沉积时间 , 结构 , 阳光控制性能

衬底对溶胶凝胶法制备TiO2薄膜性能的影响

吴历清 , 赵高凌 , 张长沙 , 翁文剑 , 韩高荣

功能材料

以钛酸丁酯为前驱体,经浸渍拉膜法在不锈钢以及表面预镀一层非晶态SiO2薄膜的不锈钢表面镀TiO2薄膜.利用XRD、FE-SEM研究了薄膜晶体结构与表面形貌,同时研究了不同衬底上薄膜光催化活性和亲水性,并与以玻璃为衬底的作比较.结果表明,衬底对TiO2薄膜表面形貌及性能的影响很大.以不锈钢为衬底的TiO2薄膜性能光催化活性较弱,但在表面预镀一层非晶态SiO2后TiO2薄膜的光催化活性有所改善.

关键词: 溶胶凝胶法 , 衬底 , 二氧化钛 , 光催化活性 , 亲水性

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