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VHF-PECVD法制备氢化硅薄膜及单结电池

吴志猛 , 雷青松 , 赵颖 , 耿新华 , 奚建平

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.06.029

利用VHF-PECVD分解硅烷和氢气的混合气体来制备本征微晶硅薄膜.运用拉曼散射和X射线衍射研究了不同硅烷浓度对薄膜的影响.随着硅烷浓度的增加,沉积速率和光敏性增加而晶化率下降.将优化的本征材料应用到pin电池中,得到本征层厚度约为1μm的微晶电池,效率达5.87%.

关键词: 微晶硅 , 硅烷浓度 , 太阳电池

等离子体源离子注入法制备类金刚石薄膜

马国佳 , 吴志猛 , 李新 , 邓新绿 , 徐军 , 唐祯安

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2003.05.017

用等离子体源注入(PSII)在Si(100)上制备类金刚石膜,放电气体采用CH4, 用微波电子回旋共振(ECR)产生等离子体.将-20～-30 kV的高压加在衬底上,来提高离子的能量.通过Raman光谱和FT-IR光谱检测了类金刚石膜的化学组成及状态,并对其机械性能和表面形貌进行了检测.结果显示,硅片硬度和摩擦因数得到了改善,用PSII能够制备出性能优良的膜,可以将其应用到微电子器件(MEMS)上去.

关键词: 类金刚石 , 等离子源注入 , 化学键

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