刘长清
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于力
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于志明
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金柱京
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吴维(?)(?)
金属学报
采用透射电子显微镜及微衍射技术,研究了稀土钇改性的离子镀Ti(Y)N膜与A3钢基材之间的界面精细结构。结果表明:Ti(Y)N/A3系统界面是由三个亚层构成,由于Y的添加导致了界面三个亚层中形成了Y_6Fe_(23),Y和YN相,其中Y_6Fe_(23)和Y与α-Fe,FeTi及Ti_2N相之间存在一定的位向关系。本文还讨论了该界面形成机理。
关键词:
离子镀
,
interface
,
sublayer
,
Y-modification
楼翰一
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朱圣龙
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王福会
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吴维(?)(?)
金属学报
研究了平面磁控直流反应溅射法沉积氧化铝薄膜的过程。结果表明氧分压大小对反应溅射过程有决定性作用,当氧分压增大或减小过程中存在两个阈值。氧分压小于阈值为金属Al溅射区,大于阈值为氧化铝溅射区。在阈值附近总气压、溅射电压和沉积速率发生突变,溅射特性(V-J)曲线有不同规律。沉积的氧化铝膜为非晶态,高温下可晶化,本文还讨论了反应溅射的机理。
关键词:
氧化铝膜
,
amorphous film
,
reactive sputtering
