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陈珂 , 杨涛 , 吴陪均 , 陈烈
低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.1999.01.005
本文用原子力显微镜(AFM)对有不同伏安特性的台阶边缘结之台阶形貌进行了仔细测量.结果表明:台阶边缘晶界结特性受非平面衬底离子束刻蚀剖面细节的影响.文中对刻蚀剖面形貌的细节对结性能的影响进行了分析,并讨论了台阶结制作工艺重复性差,成品率低的原因.
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