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溶胶-凝胶方法在玻璃表面制备ATO薄膜过程中Na+离子扩散的研究

赵慧峰 , 周敖 , 罗伍文

硅酸盐通报 doi:10.3969/j.issn.1001-1625.1999.03.009

利用金属醇盐以溶胶-凝胶方法制备了Sb掺杂SnO2(ATO)薄膜,研究了玻璃基板中Na+离子扩散对薄膜性能的影响及其机理,并进行了在玻璃表面预镀SiO2底膜以防止这种扩散的研究工作,发现预镀SiO2底膜后可以有效地阻止Na+离子的扩散从而改善了ATO薄膜的导电性能.

关键词: 溶胶-凝胶 , ATO , 薄膜 , 扩散 , 导电