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唐璧玉 , 靳九成 , 靳浩 , 颜永红 , 李绍绿 , 夏金童 , 陈小华 , 陈宗璋
材料研究学报
利用热丝化学汽相沉积法生长出优异的金刚石薄膜.研究表明,金刚石的成核依赖于沉积点的尖锐度,薄膜的生长包括晶粒长大和薄膜上的二次成核及其生长,可用分层生长来描述.金刚石晶粒的生长由外延生长和二次成核及其生长组成,也是分层进行的.结果导致了金刚石晶体和薄膜的层状结构.
关键词: 化学汽相沉积 , null , null , null
唐璧玉 , 杨国伟 , 任志昂 , 蔡孟秋
材料开发与应用 doi:10.3969/j.issn.1003-1545.1999.06.004
在硅和铁基底上同时进行CVD金刚石的沉积,利用硅基底上的金刚石成核感应金刚石在铁基底上直接成核.研究表明,硅和铁基底上不同的沉积过程导致了铁基底上碳原子表面扩散的加强,从而促成了CVD金刚石在铁基底上的直接成核.表面扩散对CVD金刚石成核有重要影响.
关键词: CVD金刚石 , 铁基底 , 感应成核 , 表面扩散
唐璧玉
人工晶体学报
关键词:
