材料期刊网

SOI材料的缺陷及其表征

夏庆锋 , 杨德仁 , 马向阳 , 阙端麟

材料导报

简述了利用注氧隔离法(SIMOX)制备的SOI材料中产生的一些不同于体硅材料的特殊缺陷,涉及表面缺陷、Si/SiO2界面缺陷和埋氧层缺陷,包括这些缺陷的产生机制、表征方法以及一些降低和消除措施.

关键词: 缺陷 , SOI材料 , 表征 , SIMOX