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微电机中转子和衬底间的微磨擦参数的提取

杨俊杰 , 甘骏人 , 姚林声

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.01.020

为了分析微电机的动力学特性,提出了一种微磨擦参数提取的人工神经网络模型.通过该模型可以方便地得到指定加工工艺的微电机的微磨擦系数.仿真结果与实测数据比较表明,模拟结果与实测数据基本一致.

关键词: 微电机 , 微磨擦 , 人工神经网络 , 微电机仿真系统

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