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基于高温超导单晶材料的大尺寸约瑟夫森本征结制备工艺研究

张秋奕 , 姜振国 , 陈健 , 康琳 , 许伟伟 , 吴培亨

低温物理学报

基于高温超导单晶材料BizSrzCaCu2O8＋x（BSCCO）的约瑟夫森（Josephson）本征结器件制备工艺，成功制备出形貌整齐、特性良好、一致性高的大尺寸太赫兹辐射源本征结器件．从工艺的各个步骤出发，总结了要点，并对原有工艺做出改进．通过扫描电子显微镜观察刻蚀形貌，总结了光刻最佳后烘温度条件，提出了一套重复性好、成功率高的工艺方法．

关键词: BizSrzCaCu2O8+x高温超导单晶 , 本征结 , 太赫兹 , 扫描电子显微镜