张慧星
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谭毅
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孙世海
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许富民
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姜大川
机械工程材料
以1101工业硅为原料,采用真空感应熔炼加定向凝固提纯方法制备了多晶硅铸锭,通过电感耦合等离子体发射光谱仪、扫描电镜、四探针电阻率仪、导电类型测试仪等对其化学成分、组织、电阻率及导电类型等进行了分析.结果表明:多晶硅锭中约50%的区域纯度达到99.99%,其中铁、铜、镍等金属杂质去除率均在90%以上;分凝效应使得杂质元素重新分布,导致粗大柱状晶在铸锭54%高度处停止生长,此时其成分及电阻率发生突变,导电类型也由P型转变为N型.
关键词:
定向凝固
,
多晶硅
,
分凝效应
,
电阻率
谭毅
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孙世海
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董伟
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邢其智
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冀明
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2012.08.008
通过真空感应熔炼炉以不同拉锭速率制备了多晶硅铸锭,通过对铸锭的金相组织及少子寿命随凝固高度的变化及径向分布的分析,研究了多晶硅定向凝固过程中的固-液界面特性.结果表明:少子寿命随生长高度的增加先增加后减少,其径向分布与固-液界面相对应.由少子寿命分布图可以看出,固-液界面的曲率随拉锭速率的减小而减小,固-液界面形貌为胞状界面.计算分析表明,胞状的固-液界面造成Fe杂质的有效分凝系数增加了3个量级以上.
关键词:
多晶硅
,
固-液界面
,
拉锭速率
,
曲率
冀明
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董伟
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谭毅
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孙世海
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李国斌
材料研究学报
用真空感应熔炼和定向凝固法制备多晶硅,通过成分测定和理论计算研究了铝杂质的除杂机理.结果表明,在真空熔炼保温阶段(T≥1723 K),硅中的铝杂质明显蒸发;在随后的定向凝固过程中,铝杂质的分凝偏析是主要的,但仍有部分铝蒸发.建立了一个包括铝分凝和蒸发机制的新模型,模拟铝在硅中的分布曲线.模拟结果与铝在硅中的实际分布符合得很好.
关键词:
无机非金属材料
,
多晶硅
,
真空感应熔炼
,
定向凝固
,
铝
