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测试方法对硅片表面微粗糙度测量结果影响的研究

孙燕 , 李莉 , 孙媛 , 李婧璐 , 李俊峰 , 徐继平

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2009.06.024

随着大规模集成电路的快速发展, 硅片表面微粗糙度对于器件制造的影响也越来越受到人们的重视. 介绍了几种测量硅片表面微粗糙度的测试方法, 并将它们分成三类, 简单阐述了每一类测试方法的测试原理, 影响测试结果的因素, 从实际应用的角度详细阐述了这三类测试方法的适用情况、通过详细的测试数据及图形对这三类测试方法进行了分析, 并对这三类测试方法进行了比较. 最后简单介绍了纳米形貌和硅片表面微粗糙度之间的关系.

关键词: 表面微粗糙度 , 测量 , 硅片

原子力显微镜研究材料光滑表面的微摩擦性能

李学锋 , 孙媛 , 彭少贤 , 李维敏 , 冯军

功能材料

用原子力显微镜研究了单晶硅、云母表面的微摩擦性能,通过选择扫描角度及对分长度的方法,研究了一种有效的测试光滑材料表面微观静摩擦力的方法.结果表明,新解理云母与探针间的微观静摩擦系数和动摩擦系数均低于单晶硅的表面,但粘附力要大于单晶硅,这可能是由于新解理云母表面带有的电荷易吸收水分造成的.

关键词: 表面 , 微摩擦 , 静摩擦力 , 原子力显微镜

煤焦油碳基固体酸催化合成2-叔丁基-5-甲基苯酚

郝海娥 , 孙媛 , 陈静 , 胡奇林 , 刘万毅

合成材料老化与应用 doi:10.3969/j.issn.1671-5381.2011.02.001

合成了煤焦油碳基固体酸,并对其结构进行了表征.通过叔丁醇与问甲基苯酚合成了2-叔丁基-5-甲基苯酚,探讨了煤焦油碳基固体酸对烷基化反应的催化活性.实验结果表明,煤焦油碳基固体酸是烷基化反应的良好催化剂,在间甲基苯酚0.01 mol、催化剂用量为0.1 g、反应温度为110℃、反应时间为3 h、醇酚摩尔比为2.5:1的优化条件下,产品的收率达90.6%.且该固体酸催化剂重复使用多次,其催化活性基本保持不变.

关键词: 碳基固体酸 , 催化 , 2-叔丁基-5-甲基苯酚 , 烷基化

ZnO空心纳米球的水热合成及其光催化性能表征

吴晓 , 郭希 , 孙媛 , 程凤伶

材料导报

以简单的无机锌盐、H2O2、氨水和去离子水作为反应前驱物,采用水热法在200℃合成了ZnO空心纳米球.利用XRD、TEM考察了反应时间和反应温度对产物组成及形貌的影响,并探讨了产物的形成机理.光催化性能研究表明,合成的ZnO空心纳米球具有优异的光催化性能,紫外光照射50 min后对罗丹明B的降解率达到90%.

关键词: 水热合成 , ZnO , 空心球 , 光催化

高强度水凝胶的摩擦性能研究进展

李学锋 , 孙媛 , 胡波 , 江成

材料导报

高强度水凝胶作为一种新型的软而湿类弹性材料具有良好的生物相容性,其低摩擦性能使其成为目前最适合的人体组织替代物材料.介绍了两种新型的高机械强度水凝胶的制备方法,并在此基础上进一步研究了其摩擦特性,发现水凝胶表现出极低的摩擦系数(约 10-3);同时分析化学结构、悬挂分子链和测试环境(介质、载荷和滑动速度)对摩擦力的影响,通过吸附-排斥模型对其摩擦机理进行理论分析.

关键词: 水凝胶 , 制备方法 , 高强度 , 低摩擦

低合金高强钢Q345B卷管平台原因分析及控制措施

王晓春 , 李松波 , 孙媛

中国冶金 doi:10.13228/j.boyuan.issn1006-9356.20140061

针对制管用低合金高强度钢Q345B在卷管过程中出现的“平台”缺陷的问题,检验分析了缺陷管材的显微硬度、力学性能和金相组织,发现异常含量的贝氏体组织.通过采取提高出炉温度、降低终轧温度、降低轧制速度等措施,减弱了板材层流冷却速度,减少了硬相组织的产生,使板材获得了理想的组织性能和冷成形性能.

关键词: Q345B , 平台缺陷 , 贝氏体 , 冷却

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