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连续离子层吸附反应法制备超薄功能膜及应用

石亚平 , 高燕 , 孙承月 , 吴宜勇

宇航材料工艺 doi:10.3969/j.issn.1007-2330.2010.04.002

阐述了液相法中制备超薄功能膜的新方法--连续离子层吸附反应法(Successive Ionic Layer Adsorption and Reaction, SILAR).探究了它的薄膜生长机理、工艺参数影响以及应用现状,指出了尚需深入研究的问题.

关键词: 连续离子层吸附反应法 , 超薄 , 功能膜 , 工艺参数