顾毓沁
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张荣海
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朱德忠
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孙晓毅
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阎桂珍
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唐祯安
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工程热物理学报
随着近代高新技术的发展，要求各种探测器微型化。微加工技术的进步，使得微器件制造有了可能，于是微传感器就应运而生了。微热板作为一种微型加热器在微传感器中有着极为重要的作用。它的温度分布和热特性直接影响微传感器的工作性能，为此微热板的热测试和热分析成为微传感器的研制、使用和评价所必不可少的工作。
本文针对研制中的气体传感器的微热板，用红外热成像技术进行热测试和分析，获得气体传感器微热板的微小区域的温度分布，为传感器的研制提供了可靠的依据。
关键词:
微热板
,
传感器
,
红外热成像
,
温度分布
顾毓沁
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晋宏师
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孙晓毅
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陈皓明
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谢志刚
工程热物理学报
随着高新技术的迅速发展，许多研究对象已进入亚微米和纳米范畴。在对这些对象的热性能和热可靠性的研究中，亚微米尺度的热物性测量已成为关键技术之一。例如：在微电子、微电子机械系统(MEMS)领域中，已使用纳米量级厚度的材质和做出纳米尺度线宽的器件。在材料科学、生物学、医学和化学等许多领域，高空间分辨率下的热物性测量也具有重要意义。
关键词:
扫描热显微镜
,
热探针
,
热导率
