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X射线反射法和椭圆偏振法结合测量热处理溶胶-凝胶ZrO2薄膜的结构和光学参数

贾红宝 , 孙菁华 , 徐耀 , 吴东 , 吕海兵 , 袁晓东

材料科学与工程学报

采用溶胶-凝胶法在硅片基底上制备ZrO2薄膜,在150℃~750℃范围内不同温度下进行热处理,研究了热处理对膜层结构和光学性能的影响.X射线反射用于膜层厚度和界面粗糙度分析,结果表明热处理温度由150℃升至750℃,膜层厚度由常温状态下的112.3nm减小到34.0nm,表面和界面粗糙度均小于2nm.以X射线反射法测得的膜层厚度为初始值,对椭圆偏振仪的测量结果进行拟合,得到不同温度的膜层折射率,结果表明热处理温度为550℃时膜层折射率达到最大值.X射线反射作为直接的膜层厚度测试手段,所得结果为准确分析椭偏光谱提供了参考.

关键词: 溶胶-凝胶 , 二氧化锆 , X射线反射法 , 椭偏光谱法

溶胶-凝胶法制备氧化硅光学减反射膜

孙菁华 , 吕海兵 , 吴东 , 徐耀 , 袁晓东

材料导报

综述了溶胶-凝胶光学减反射膜的应用背景及光学原理,系统讨论了溶胶-凝胶氧化硅减反射膜的完整制备工艺以及薄膜在使用过程中的主要性能评价指标,最后展望了薄膜的未来发展趋势.

关键词: 溶胶-凝胶 , 氧化硅 , 光学减反射膜 , 高功率激光系统

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