安晓晖
,
李蓉萍
,
田磊
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何志刚
,
吴蓉
,
李忠贤
稀土
应用双源法真空蒸发制备掺Gd的CdTe薄膜,并借助XPS对其进行组份分析.实验表明,Gd掺杂的CdTe薄膜的组分为Cd、Te、O、C、Gd等元素,其中C、O主要以物理吸附方式存在于薄膜表面;Cd、Te元素的存在方式为CdTe化合物及其氧化物形式;而Gd元素由于碳污染的原因在其表面未曾出现,只在刻蚀过程中出现;深度剥蚀分析表明在样品内部Cd元素的含量大于Te元素的含量,且接近于1∶0.8,趋于稳定.
关键词:
真空蒸发
,
掺Gd-CdTe 薄膜
,
XPS
,
成分
吴蓉
,
李蓉萍
,
何志刚
,
安晓晖
,
李忠贤
稀土
doi:10.3969/j.issn.1004-0277.2011.03.012
利用真空蒸发的方法制备ZnSe多晶薄膜,并采用双源法对薄膜进行了Dy的掺杂.用XRD、紫外可见分光光度仪对薄膜的性质进行了表征.结果表明,当Zn、Se原子配比为0.9:1时可制备较理想的ZnSe多晶薄膜,稀土Dy掺杂并未改变样品的物相结构,但掺杂使薄膜的晶格常数及晶胞体积略有增大,还使得薄膜的晶粒尺寸及压应力变小,掺杂后薄膜的光透射性得到改善.
关键词:
ZnSe薄膜
,
微结构
,
真空蒸发
,
掺杂
何志刚
,
李蓉萍
,
董海成
,
安晓晖
,
吴蓉
,
李忠贤
稀土
doi:10.3969/j.issn.1004-0277.2011.02.003
用真空热蒸发法在玻璃衬底制备CdTe和Cd掺杂CdTe薄膜.研究热处理和Gd掺杂量对CdTe薄膜结构、光学特性的影响.结果表明,薄膜均为立方闪锌矿结构,Gd的掺入没有改变薄膜的晶体结构,但使薄膜的晶粒尺寸减小,晶格常数和晶胞体积略有增大,并使其择优取向由[220]晶向变为[111]晶向.掺Gd使薄膜在可见光范围透过率增强,但对光能隙影响不大.
关键词:
真空蒸发
,
CdTe薄膜
,
Cd掺杂
,
光学特性
