冯丽萍
,
刘正堂
,
梅辉
,
宋文燕
材料导报
提高蓝宝石高温强度的研究已成为蓝宝石在高速、高温应用中一个亟待解决的重要课题.简要介绍了蓝宝石的高温失效及几种正在研究与发展的改善方法,并提出了今后需要进一步研究的关键问题.
关键词:
蓝宝石
,
高温强度
,
高温失效
宋文燕
,
刘正堂
,
崔虎
,
李强
,
赵铁成
兵器材料科学与工程
doi:10.3969/j.issn.1004-244X.2005.05.004
采用射频磁控反应溅射法在蓝宝石和硅衬底上制备出Si3N4薄膜.利用XPS和FTIR分析了所制备薄膜的成分和结构,讨论了工艺参数对沉积速率的影响.结果表明,Si3N4薄膜的沉积速率随溅射气压的增大出现先增后减的趋势,衬底温度对沉积速率没有明显的影响.溅射气压的降低、衬底温度的提高将有利于获得高质量的Si3N4薄膜.
关键词:
磁控反应溅射
,
蓝宝石
,
氮化硅薄膜
,
沉积速率
宋文燕
,
崔虎
,
苏勋家
,
刘正堂
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2006.02.010
采用射频磁控反应溅射法,以高纯Si为靶材,高纯N2气为反应气体,在蓝宝石和硅衬底上制备了氮化硅薄膜.并对Si3N4薄膜的沉积速率、成分、结构及红外光学性能等进行了研究.实验结果表明,沉积薄膜中Si和N的比接近3∶4,形成了Si3N4化合物,呈非晶态结构.制备的Si3N4薄膜的硬度明显高于蓝宝石衬底的硬度,且与蓝宝石衬底结合牢固,可提供良好的保护性能.
关键词:
磁控反应溅射
,
蓝宝石
,
氮化硅薄膜
,
性能
李强
,
刘正堂
,
冯丽萍
,
宋文燕
,
张兴刚
,
闫锋
材料科学与工艺
doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2007.01.013
在蓝宝石(α-Al2O3)衬底上利用射频磁控反应溅射法制备出SiO2/Si3N4双层增透膜系,并对镀膜后的蓝宝石进行了高温强度测试及其透过率的研究.研究表明:镀膜后蓝宝石的高温强度和透过率均有明显提高;800℃时,镀膜蓝宝石的高温强度比未镀膜提高了41.0%;在3～5μm波段范围内,室温下镀膜后透过率比镀膜前提高8.0%;SiO2/Si3N4膜系具有较高的热稳定性,且与蓝宝石衬底附着良好.
关键词:
磁控溅射
,
SiO2/Si3N4 薄膜
,
蓝宝石
,
高温强度
,
透过率
宋文燕
,
崔虎
,
刘正堂
,
冯丽萍
兵器材料科学与工程
doi:10.3969/j.issn.1004-244X.2006.05.003
采用射频磁控反应溅射法,以高纯Si为靶材,高纯O2和N2气为反应气体,在蓝宝石衬底上制备了氧化硅和氮化硅薄膜.讨论了N2气流量、射频功率、溅射气压和靶基距等工艺参数对Si3N4薄膜沉积速率的影响规律.结果表明:随N2气流量的增加,沉积速率先降低,最后趋于稳定;随射频功率增加,沉积速率增加;随溅射气压和靶基距增加,沉积速率先增后减.同时,高温强度试验和FTIR测试结果表明:在800℃时,镀膜后蓝宝石的弯曲强度比镀膜前提高了50.2%;平均透过率净增加8%以上,达到了很好的增透保护效果.
关键词:
蓝宝石
,
氮化硅
,
高温强度
,
透过率
,
镀膜
