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SU-8光刻胶玻璃化转变温度及力学性能的分子动力学模拟

尚海鑫 , 褚金奎 , 高佳丽

高分子材料科学与工程

基于COMPASS分子力场,经过分子聚合,能量最小化和退火模拟等构建SU-8光刻胶模型.利用分子动力学的研究方法,模拟研究了SU-8胶的玻璃化转变温度及其主要的影响因素;同时计算了在室温条件下交联SU-8胶的杨氏模量、泊松比、剪切模量、体积模量等力学性能.结果表明,模拟得到的玻璃化转变温度和力学性能与实验结果相一致;非键能是导致非交联SU-8胶玻璃化转变的主要因素之一.

关键词: SU-8光刻胶 , 分子动力学 , 玻璃化转变 , 力学性能

SU-8胶长细比效应的分子动力学模拟

尚海鑫 , 褚金奎 , 高佳丽

高分子材料科学与工程

运用分子动力学(MD)的研究方法,经过分子聚合、能量最优化和退火模拟等构建了不同长细比的SU-8光刻胶模型,模拟研究了在室温条件下不同长细比的SU-8胶纳米尺寸模型的弹性模量、泊松比、剪切模量等力学性能参数.结果表明,在室温下,随着SU-8胶模型长细比的增加,材料的扬氏模量和剪切模量逐渐增大,这一现象与微尺度SU-8胶模型的实验结果一致,表明有效长细比是微尺度下表征材料力学性能和尺寸效应的一个重要参数.

关键词: SU-8光刻胶 , 力学性能 , 分子动力学 , 长细比

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