文春明
,
尤政
,
温志渝
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王晓峰
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陈李
功能材料
为了增大MEMS超级电容器电极结构的表面积,提高MEMS超级电容器的电荷存储能力,研究了利用SU-8胶制备高深宽比三维电极微结构.经过基片清洗、涂胶、前烘、曝光、后烘、显影、坚膜等过程,制备了深宽比为6的微结构.分析讨论了微结构制备过程中基底洁净度和升降温速度及曝光、显影时间等因素对结构制备的影响.实验结果表明,用SU-8胶制备高深宽三维电极微结构,能在相同底面积的基础上有效增加电板结构的表面积,提高单位底面积的电容器储能密度.
关键词:
三维微结构
,
SU-8光刻胶
,
高深宽比
,
超级电容器
,
MEMS
李慧娟
,
尤政
,
张高飞
,
杨建中
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.048
本文利用通电平面螺旋线圈产生磁场特点,采用镜像绕制以及并联连接双线圈的方法,研制了一种快速低功耗MEMS微型双稳态继电器结构,其尺寸约为3mm*4.5mm*1.5mm,文中着重分析其工作原理和过程.经过分析,该继电器在通电电流80～120mA时,开关时间约在0.1ms～0.2ms之间,因此,其具有体积小、开关速度快、低功耗等优点,并且易于集成和阵列,适用于能源有限并且可靠性要求高的微型航天器以及便携设备中.
关键词:
微机械系统
,
微继电器
,
平面螺旋线圈
,
微机械加工工艺
胡晓莉
,
汤学华
,
尤政
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.058
水平式隧穿磁强计梁的结构设计可采用直梁和折叠梁.直梁结构质量弹簧系统的弹性系数可通过几何建模的方法确定,但折叠梁结构则难于采用该方法确定.本文以单折梁为例,采用有限元仿真,通过建立单折梁结构和直梁结构在受到相同外力时位移变化之间的关系,推导出单折梁结构的弹性系数和驱动电压计算公式.此外,通过分析单折梁结构和直梁结构的水平式隧穿磁强计1～4阶模态振型,发现单折梁结构的1～3阶模态的运动方向与直梁结构相同;单折梁结构第4阶模态的方向既有绕x轴的转动,也有绕Z轴的转动,绕z轴的转动为主要运动.
关键词:
隧穿磁强计
,
单折梁结构
,
有限元仿真
任大海
,
戴震宇
,
尤政
功能材料
在含有Bi 3＋、HTeO2＋、Se4＋离子的水溶液中通过电化学方法实现了Bi2Te3-ySey热电薄膜沉积,研究了电沉积Bi2Te3-ySey的阴极极化曲线及热电薄膜的生长过程,通过电子显微镜（SEM）和能谱仪（EDS）等手段对热电薄膜进行了形貌、成分分析。结果表明电解液的离子组成、沉积电位对薄膜成分、形貌有较大影响。在-0.07V沉积电位下制备的热电薄膜Bi2Te2.75Se0.95晶粒大小均匀,结构致密。
关键词:
热电薄膜
,
热电转换
,
电沉积
邢飞
,
尤政
,
张高飞
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.055
太阳敏感器是卫星等航天器上的重要姿态测量部件,其原理是测量太阳光线和敏感器本体主轴的夹角,近而确定卫星的指向.随着MEMS技术和高精度图像传感器技术的发展,将MEMS光线引入器阵列和APS(Active Pixel Sensor)图像传感器技术进行组合,在不增加系统的质量和功耗的情况下通过多个成像阵列来降低系统的随机误差,提高成像中心位置的准确性,从而将太阳敏感器的测量精度提高一个量级.同时采用图像预测提取相关算法(Future Extraction and Image Corre-lation-FEIC),提高了系统的鲁棒性,在部分小孔受到堵塞等干扰情况下,依然保证系统正常工作,精度上基本上不受影响.传统的太阳敏感器一般采用单孔式光线引入器和CCD等方案来实现的,精度比较低.这种新设计思路和实现方法为太阳敏感器系统的可靠性提供了重要保障.
关键词:
MEMS光线引入器
,
太阳敏感器
,
预测相关算法
,
鲁棒性
