屈晓声
,
李德杰
,
田宏
,
姚保纶
功能材料
Ni-SiO2金属陶瓷薄膜是制作透明电阻层的材料,用射频磁控溅射反应制备对近紫外透明的Ni-SiO2薄膜,生成的样品均匀、致密,通过控制薄膜中的金属体积百分比可改变薄膜的电阻率及透光性满足实际工艺需求.X射线能谱分析可以估算出Ni在样品中的百分比,各种不同制备条件下的样品透射率有较大的差别.
关键词:
Ni-SiO2薄膜
,
金属体积百分比
,
射频溅射
,
透光性
屈晓声
,
李德杰
功能材料
讨论了CuxS薄膜经氮离子注入后对薄膜的特性影响,铜硫化合物薄膜是经两次蒸发制备在玻璃上.实验发现氮离子束注入引起了CuxS薄膜中的铜与硫成分的改变,明显现察到样品中的铜对硫的比值随注入离子束强度的增加而变大.经过透射光谱的分析对比证实了确有新的CuxS状态出现.
关键词:
CuxS薄膜
,
离子注入
,
相变
,
透射率
