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Ti2AlNb基合金表面磁控溅射Al/Al2O3薄膜及扩散处理对其抗高温氧化性能的影响

崔世宇 , 缪强 , 梁文萍 , 徐一 , 杨晶晶 , 张志刚

材料保护

为提高Ti2AlNb合金的抗高温氧化性能,在Ti2AlNb合金表面磁控溅射Al/Al2O3薄膜,于真空退火炉内对其进行600℃,1h扩散处理后,分别在650,750,850℃下氧化100 h.利用XRD,SEM,EDS技术对基体和扩散试样的相组成、微观形貌进行了分析;研究了Al/Al2O3薄膜扩散层的抗高温氧化性能及扩散处理对Al/Al2O3薄膜氧化动力学曲线的影响.结果表明:Al/Al2O3薄膜扩散层的氧化行为受氧离子渗入薄膜运动过程的控制,在高温条件下表层形成连续致密的Al2O3膜,使薄膜扩散层的氧化系数远低于基体,并且次表层的富铝相能有效阻止氧离子扩散通道的形成,减少基体与氧化性气体接触,从而显著提高Ti2AlNb基合金的抗高温氧化性能.

关键词: 磁控溅射 , Al/Al2O3薄膜 , 扩散处理 , 抗高温氧化性能 , 氧化系数

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