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ECR-CVD法制备BN薄膜

张生俊 , 崔贲涛 , 王波 , 严辉 , 陈光华

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2000.z2.024

cBN薄膜的CVD制备是一个很受关注的课题.本文研究了ECR-CVD系统的等离子体特性,并在Si(100)衬底上进行了BN薄膜的生长实验,初步获得了cBN含量约为23.8%的BN薄膜;分析了H2在CVD生长cBN中的影响.

关键词: 电子回旋共振 , cBN , 薄膜