翟计全
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常俊杰
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许伟伟
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朱冉
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吉争鸣
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陈健
低温物理学报
超导Josephson隧道结是实现超导量子比特的基本元件．本文介绍了一种利用电子束曝光技术和电子束斜蒸发技术相结合的方法来制备铝超导Josephson隧道结．这种方法工艺简单，通过一次光刻就可完成；而且可以通过调节下层光刻胶厚度、斜蒸发角度、悬空桥区宽度等参数可以有效地控制隧道结的面积大小；此外，本方法通过采用不对称电极结构有效地改善了隧道结的漏电流特性，满足了制备超导量子比特的要求．
关键词:
Al/Al2O3/Al隧道结
,
双层光刻胶
,
悬空掩膜结构
,
斜蒸发
常俊杰
,
王兴国
,
徐久军
稀有金属材料与工程
采用瑞利波的特性评价了类金刚石涂层的质量.制备了3种试样,无涂层试样,完好试样,缺陷试样.得到了3种试样的瑞利波群速度频散曲线.结果表明,由于无涂层试样的群速度在不同频率下不变,表明该测量结果是可靠的.由化学气相沉积制备的类金刚石涂层的频散曲线表明,涂层对群速度有一定的影响,完好试样的群速度与缺陷试样的群速度随着频率的变化而变化,因此,泄漏瑞利波可以很好地作为评价类金刚石涂层质量的一种无损检测方法.
关键词:
类金刚石涂层
,
瑞利波
,
相速度
,
衰减系数
