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c面白宝石衬底表面形貌对气相传输平衡法制备的γ-LiAlO2层质量的影响

彭观良 , 李抒智 , 庄漪 , 邹军 , 王银珍 , 刘世良 , 周国清 , 周圣明 , 徐军 , 干福熹

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.05.014

采用气相传输平衡(VTE)技术,在(0001)面白宝石衬底表面上成功地制备出单相γ-LiAlO2层.研究了白宝石衬底表面形貌对γ-LiAlO2层质量的影响,发现白宝石衬底的表面粗糙度和退火处理是两个影响γ-LiAlO2层质量的重要因素.要制备高质量的γ-LiAlO2层,适度的表面粗糙度是恰当的.对白宝石衬底进行退火处理,γ-LiAlO2层的择优取向变差.并对其中可能的机理进行了探讨.

关键词: 白宝石 , γ-LiAlO2 , 气相传输平衡 , GaN , 衬底

γ-LiAlO2晶体的生长及掺镓研究

彭观良 , 庄漪 , 邹军 , 王银珍 , 刘世良 , 周国清 , 周圣明 , 徐军 , 干福熹

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.03.004

由于与GaN晶格失配小(约1.4%),γ-LiAlO2单晶有望成为GaN外延衬底材料.本文首先使用提拉法生长出了尺寸达φ45×50mm3的γ-LiAlO2单晶,然后采用Ga2O3作为掺杂剂,仍用提拉法生长出了三种不同掺镓浓度的LiAl1-xGaxO2(x=0.1,0.2,0.3)晶体,并用X射线粉末衍射(XRPD)分别对晶体及坩锅中剩余的熔体的成份进行了表征.结果表明LiAl-xGaxO2(x=0,0.1,0.2,0.3)晶体归属于γ-LiAlO2结晶结构,Ga3+离子部分地取代Al3+离子,发生分凝且分凝系数小于1.

关键词: 晶体生长 , 提拉法 , γ-LiAlO2 , LiAl1-xGaxO2 , 掺质

r面白宝石单晶的温梯法生长及缺陷研究

彭观良 , 周国清 , 庄漪 , 邹军 , 王银珍 , 李抒智 , 杨卫桥 , 周圣明 , 徐军

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.04.019

本文描述使用温梯法(TGT)生长(1102)方向的白宝石单晶,应用X射线双晶摇摆曲线(XRC)测定了晶体内部的完整性,再利用KOH熔体腐蚀出样品的r面(1102)上的位错蚀坑,借助扫描电子显微镜(SEM)进行观察,发现r面白宝石的位错腐蚀坑呈等腰三角形,并且有台阶状结构,并分析了位错的成因.

关键词: 温梯法 , r面白宝石 , 位错 , 化学腐蚀 , 腐蚀坑 , 缺陷

提拉法生长大尺寸γ-LiAlO2单晶的研究

彭观良 , 邹军 , 庄漪 , 张涟翰 , 周国清 , 周圣明 , 徐军 , 干福熹

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.02.018

由于与GaN晶格失配小(约1.4%),γ-LiAlO2单晶有望成为一种很有希望的CaN外延衬底材料.本文使用提拉法生长出了尺寸达φ45×50mm3的γ-LiAlO2单晶.对该晶体毛坯的各个有代表性的位置作了X射线粉末衍射(XRPD)分析,结果表明仅仅在晶体毛坯的底部生成了一种缺锂相(LiAl5O8).γ-LiAlO2晶体化学稳定性差,在室温时轻微水解.当在空气中于1100℃退火70h,γ-LiAlO2晶体挥发出锂组分,在表面产生缺锂相(LiAl5O8).值得注意的是,在γ-LiAlO2晶体的红外光谱区不存在氢氧根吸收带.

关键词: 晶体生长 , 提拉法 , γ-LiAlO2 , 外延 , GaN , 衬底 , 红外

β′-Gd2(MoO4)3晶体生长中的过冷现象研究

袁清习 , 李红军 , 庄漪 , 徐军 , 潘守夔

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2002.02.010

对电阻加热引上法和感应加热引上法生长β′-Gd2(MoO4)3晶体的实验结果进行了比较,分析了两种方法生长晶体过程中熔体过冷和组分过冷的情况.研究认为组分过冷主要与生长过程中MoO3的挥发、Gd2(MoO4)3熔体的粘度及固液界面的温度梯度有关,并认为感应加热引上法较之电阻加热引上法容易得到优质晶体.

关键词: 电阻加热引上法 , 感应加热引上法 , 熔体过冷 , 组分过冷

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