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二氧化钛薄膜制备的影响因素

廉冰娴 , 邱望标 , 杨绿 , 许兵

电镀与精饰 doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2009.03.012

采用阳极氧化法制取二氧化钛薄膜,研究了电压加载方式对薄膜表面的影响以及不同磷酸质量浓度对成膜过程的影响.结果表明:采用缓加渐进方式施加电压有利于形成无斑点、表面均匀的薄膜;阻挡层电阻和厚度随磷酸质量浓度的增加而减小.

关键词: 阳极氧化 , 氧化电压 , 磷酸质量浓度 , 二氧化钛

阳极氧化制备氧化钛薄膜原理剖析

廉冰娴 , 许兵

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2010.04.014

通过实验制备了几种不同厚度的氧化钛薄膜,从膜的形成机理及氧化着色原理,得出薄膜厚度随电压增加而增加,且其增加速率大致在2.5 nm/V.重点剖析了氧化钛薄膜的氧化着色原理,并通过实验模拟分析了氧化膜形成机理,为后续研究提供了参考.

关键词: 阳极氧化 , 氧化薄膜 , 厚度 , 原理剖析 , 模拟

阳极氧化制备氧化钛薄膜机理探讨

许兵 , 廉冰娴

电镀与精饰 doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2012.06.010

在钛合金表面采用阳极氧化工艺制备出氧化钛薄膜.通过实验验证了阳极氧化原理,得出在不同的氧化电压下可生成不同厚度的氧化钛薄膜,薄膜越薄呈色越鲜艳；并分析了阳极氧化电解液对形成薄膜的影响；最后模拟分析了氧化薄膜的生长过程.

关键词: 阳极氧化 , 氧化电压 , 氧化钛薄膜 , 机理

纳米晶氧化钛薄膜的制取及表征

邱望标 , 许兵 , 杨绿 , 廉冰娴

电镀与精饰 doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2008.09.004

在玻璃表面上通过磁控溅射金属钛薄膜,再运用阳极氧化使钛薄膜氧化生成纳米氧化钛,经过8 h,180℃的退火处理使其晶化.运用扫描电镜观察了晶化处理前后薄膜的表面形貌,用电子探针对薄膜进行了表征.通过X-射线衍射图谱表明,晶化处理后薄膜具有典型的晶体结构衍射峰尖锐特征,为锐钛矿纳米晶氧化钛薄膜;电子探针成分分析与X-射线衍射结果一致.最后讨论了其应用前景.

关键词: 磁控溅射 , 阳极氧化 , 晶化 , 表征

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