材料期刊网

Cu互连中Zr嵌入层对ZrN阻挡层热稳定性的影响

翟艳男 , 杨坤 , 张晖 , 汤艳坤 , 张丽丽

稀有金属材料与工程

在不同的衬底偏压下,用射频反应磁控溅射的方法在Si (100)衬底和Cu膜间制备了ZrN/Zr/ZrN堆栈结构的阻挡层.研究了Zr层的插入对ZrN扩散阻挡性能的影响,结果表明:随着衬底偏压的升高,阻挡层的电阻率降低,ZrN呈(111)择优取向;Zr层的插入使ZrN阻挡层的失效温度至少提高100℃,750℃仍能有效地阻止Cu的扩散,阻挡性能提高的主要原因可能是高温退火时形成的ZrO2阻塞了Cu快速扩散的通道.

关键词: ZrN/Zr/ZrN膜 , 扩散阻挡层 , Cu互连 , 射频反应磁控溅射

溅射方式对NbN薄膜结构及热稳定性的影响

张宏森 , 丁明惠 , 张丽丽 , 蒋保江

材料科学与工程学报

用射频磁控溅射和直流磁控溅射的方法分别在Si(100)衬底和Cu膜间制备了30nm 的NbN薄膜,Cu/NbN/Si样品在高纯氮气保护下退火至700℃.用四探针电阻测试仪(FPP)、AFM、SEM、XRD、AES研究了溅射方式对NbN薄膜扩散阻挡性能的影响响退火前XRD结果表明,直流溅射制备的NbN薄膜为典型的晶态结构,射频溅射制备的薄膜为典型的非儡态结构.高温退火后的XRD、SEM、FPP、AES研究结果表明非晶态结构的NbN薄膜有更好的扩散阻挡性能,700℃时仍能很好地阻挡Cu原子的扩散.

关键词: NbN薄膜 , 扩散阻挡层 , Cu互连 , 磁控溅射

PG9351FA燃机建模及改烧合成气的通流调整分析

张丽丽 , 王波 , 张士杰 , 肖云汉

工程热物理学报

在透平冷却空气量估算的基础上,建立了透平逐级计算、考虑IGV角度对压气机特性曲线影响的PG9351FA燃机变工况模型.针对改烧合成气带来的压气机喘振、通流匹配等问题,分析了关小IGV角度、增大透平通流面积、降低燃气轮机T3温度等几种不同的通流调整措施对燃气轮机最大出力、压气机喘振裕度以及燃气轮机整体性能的影响,提出了一种同时增大透平通流面积和关小IGV角度的PG9351FA燃气轮机通流综合调整方案.

关键词: 燃气轮机 , 合成气 , 通流调整

AZ31镁合金双稀土转化膜的TiO2溶胶处理

董国君 , 张丽丽 , 王桂香 , 郭艳

腐蚀与防护

采用TiO2溶胶对双稀土转化膜进行处理,膜的表面形成了新的膜层.SEM表明经TiO2溶胶处理后双稀土转化膜表面有新物质覆盖在裂纹中,使裂纹减小,未露出内层膜,膜层变得均匀完整.极化曲线和交流阻抗对TiO2处理后的双稀土转化膜进行电化学测试,表明采用TiO2处理后试样的腐蚀电位由-1.143 V升高到-0.747V,腐蚀电流密度降低了两个数量级,并且交流阻抗谱的容抗弧半径增大,极化电阻由1.61 kΩ增大到1.81 kΩ,试样的耐腐蚀性得到了明显的提高.

关键词: 镁合金 , 双稀土 , TiO2 , 耐腐蚀性 , 转化膜

边界条件下铁镍纳米合金与氯苯反应性能的研究

董国君 , 茹秀玲 , 韩焕波 , 张丽丽

稀有金属材料与工程

对以KBH4为还原剂、聚乙二醇为分散剂、液相还原法合成的铁镍纳米合金与氯苯反应的反应性能进行研究,氧存在时,"热斑"作用下铁镍纳米合金的表面能使C-Cl键发生断裂,反应产物经元素分析表明主要有Cl2及少量FeCl2,其中Cl2是由断裂C-Cl键产生的氯原子结合而成,苯环自由基镶嵌在合金表面,600℃氮气保护焙烧形成FexC.液相色谱分析结果表明有联苯生成,XRD及XPS分析结果表明合金表面有Fe、Ni、O、C、B元素,FexC晶相为Fe3C、Fe2C.

关键词: 铁镍纳米合金 , 氯苯 , 机理

碳钢Ni-P化学镀耐碱性溶液腐蚀性能的研究

梁婷 , 孙杰 , 张丽丽 , 姬壮周

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2009.01.010

为了研究碳钢材料在碱性介质中的腐蚀以及防护方法,采用静态浸泡法以及电化学的方法,对普碳钢以及进行化学镀后的耐碱液腐蚀性能进行了研究.结果表明:普碳钢在室温碱性溶液中放置1h后,表面即发生了严重的腐蚀.在碱性溶液中浸泡24h后,出现了基体局部剥离的现象.普碳钢在碱性溶液中发生了严重的腐蚀.在施加了化学镀层后,普碳钢在碱性溶液中浸泡24h后,表面光洁完整,与未施加化学镀层相比,有很小的腐蚀电流.在碳钢表面施加化学镀层后在碱性介质中具有良好的耐腐蚀性.

关键词: 碳钢 , 化学镀 , 碱性溶液 , 腐蚀

基于乙二胺衍生物的新型Zn-N金属配合物的合成、晶体结构和催化性能

刘超 , 张丽丽 , 王代兰 , 杨金晶 , 刘新华

人工晶体学报

用N,N-二甲基乙二胺和N,N'-二苄基乙二胺为配体合成了两种新颖的Zn-N金属配合物[Zn(OAc)2L] (L=N,N-二甲基乙二胺(1)、N,N'-二苄基乙二胺(2)),通过核磁氢谱、红外光谱、元素分析和X-射线单晶衍射等对其结构进行了表征和分析,研究了锌金属配合物催化芳香醛与硝基甲烷发生Henry反应的性能和反应条件对其的影响,探讨了在催化剂作用下不同芳香醛发生Henry反应的适用范围.结果表明,当以甲醇为溶剂、等物质量三乙胺介入的配合物1为催化剂、催化剂用量为25mol％时,配合物能够高效催化不同芳香醛与硝基甲烷的Henry反应.

关键词: N,N-二甲基乙二胺 , N,N'-二苄基乙二胺 , 三乙胺 , Henry反应 , 配合物

硅钡钙合金中硅、钡、钙的连续测定

张丽丽 , 石英

冶金分析 doi:10.3969/j.issn.1000-7571.2003.05.026

关键词:

稀土Ce对化学镀Fe-P合金镀层成分和形貌的影响

于瑶 , 宣天鹏 , 张丽丽 , 闵文锦

金属功能材料

借助电化学分析仪、电子能谱仪、扫描电镜等对稀土掺杂化学镀Fe-P镀层的阴极极化曲线、镀层化学组成和表面形貌进行了分析和测试.结果表明,镀液中加入稀土Ce使得Fe-P合金镀层的极化度减小,析出电位正移;随着镀液中稀土Ce加入量的增加,镀层中的Fe含量减小、P含量先增加后减少;镀层表面由不规则条索状物构成,稀土添加可使表面条索状物尺寸减小、细化.

关键词: 稀土Ce , 化学镀Fe-P合金 , 镀层成分 , 表面形貌

蒙脱土／海藻酸钠接枝丙烯酸高吸水性复合物的制备及吸附性能研究

朱林晖 , 张丽丽 , 唐尧基 , 丁马太

功能材料

以过硫酸胺（APS）为引发剂，N，N-亚甲基双丙烯酰胺（MBA）为交联剂，采用插层聚合法制备了蒙脱土／海藻酸钠接枝丙烯酸（MMT／SA—g—PAA）高吸水性复合物。通过红外光谱（FT—IR）、扫描电镜（SEM）、热重分析（TGA）对MMT／SA—g—PAA的结构和性能进行了表征。研究了MMT／SA-g—PAA对重金属离子的吸附性能，结果表明室温下MMT／SA—g-PAA对Pb2＋、Cu2＋、Ni2＋的最大吸附量分别为968．9、231．0及236．Omg／g，其中对Pb2＋和Cu计的吸附符合Langmuir吸附模型，而对Ni2＋的吸附符合Freundlich吸附模型。

关键词: 蒙脱土 , 海藻酸钠 , 高吸水性复合物 , 吸附