陈吉安
,
张亚民
,
赵晓昱
,
周勇
,
周志敏
,
王明军
,
高孝裕
金属功能材料
doi:10.3969/j.issn.1005-8192.2005.03.003
基于MEMS微细加工工艺,利用磁控溅射方法在Si基片上制备了不同Cu层宽度弯曲型三明治结构的FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜,在频率1～40MHz下研究了Cu层宽度对多层膜的应力阻抗效应的影响.结果表明,弯曲型三明治结构多层膜的应力阻抗(SJ)效应随Cu层宽度的变化有明显的变化,在频率5MHz、基片自由端在y轴方向偏移的距离h为1500μm时,当Cu层宽度为0.4mm时,应力阻抗效应达-25%左右.
关键词:
应力阻抗
,
FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB
,
三明治薄膜
,
弯曲型结构
,
微细加工
张亚民
,
陈吉安
,
丁文
,
周勇
,
王明军
,
高孝裕
,
周志敏
功能材料
利用磁控溅射方法及微细加工技术制备了弯曲型三明治结构的FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜,在频率1～40MHz下研究了多层膜的纵向和横向巨磁阻抗效应,结果表明弯曲型三明治结构多层膜的巨磁阻抗效应高于它的传统的多层膜.在频率10MHz、磁场11.94kA/m下巨磁阻抗效应达-50%.
关键词:
巨磁阻抗
,
FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB
,
三明治薄膜
,
弯曲型结构
,
微细加工
周勇
,
丁文
,
陈吉安
,
高孝裕
,
王明军
,
张亚民
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.02.006
采用磁控溅射方法在玻璃基片上制备了FeSiB/Cu/FeSiB多层膜,在100kHz～40MHz范围内研究了FeSiB薄膜厚度对FeSiB/Cu/FeSiB多层膜巨磁阻抗效应的影响.当磁场施加在薄膜的纵向时,巨磁阻抗效应随磁场的增加而增加,在某一磁场下达到最大值,然后随磁场的增加而下降到负的巨磁阻抗效应.当FeSiB薄膜的厚度为1.8μm时,在频率3.2MHz、磁场2.4kA/m时,多层膜巨磁阻抗效应达最大值13.5%;在磁场为9.6kA/m时,巨磁阻抗效应为-9.2%.然而,当FeSiB薄膜的厚度为1μm时,多层膜的巨磁阻抗效应在频率40MHz、磁场1.6kA/m时达最大值5.8%.另外,当磁场施加在薄膜的横向时,薄膜表现出负的巨磁阻抗效应.对于膜厚为1.8μm的FeSiB薄膜,在频率5.2MHz、磁场9.6kA/m时,巨磁阻抗效应为-12%.可见巨磁阻抗效应的最大值及负的巨磁阻抗效应与多层膜中磁各向异性轴的取向及FeSiB薄膜的厚度有关.
关键词:
巨磁阻抗效应
,
非晶FeSiB薄膜
,
FeSiB/Cu/FeSiB多层膜
,
薄膜厚度
张亚民
材料开发与应用
doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2010.02.014
研究了均匀非磁化等离子体填充的同轴线波导,考察了电磁波在其中的传播特性.通过对边界条件的分析讨论,得到了波导中各场分量的解析表达式和电磁波在波导中传播的特征方程,并结合等离子体特性得到了电磁波传播过程中的衰减常数与相位常数.最后采用了MATLAB编程计算软件对其色散关系特性进行分析计算和绘图,在一定的条件下,分别就衰减常数和相位常数与等离子体的各种参数,如振荡频率、碰撞频率及入射电磁波频率的关系进行了深入细致的讨论,并分析了电磁波在等离子体同轴波导中传播时,不同波导尺寸对衰减的影响和不同模式与衰减的关系.
关键词:
等离子体
,
入射波频率
,
碰撞频率
,
等离子体频率
,
衰减常数
,
波导尺寸
